氣體流量的測量值是許多工藝生產的重要參數之一。由于氣體的可壓縮性，決定了它的流量測量比液體復雜，儀表的輸出信號除了與輸入信號有關，還與氣體密度、溫度和壓力等因素有關。所以，氣體的流量測量普遍存在溫壓補償問題。

奧松電子研發制造的AS200系列質量流量控制器，無需溫壓補償，不但具有質量流量計的功能，還能自動控制氣體流量。用戶根據生產需要進行流量設定后，AS200自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。

AS200系列產品是奧松電子采用先進的MEMS技術研發，在傳感器的驅動，零點漂移的控制和閥控等諸多方面都采用了獨特的技術，保證了產品的高性能、高品質和高可靠性，是目前市場上一款穩定性好、精度高、泄漏率低、耐壓高的優質儀器。

與眾不同 性能出色

1、適用于多種常規氣體、混合氣體及腐蝕性氣體，實現精準的測量控制，精度高達±1.0% S.P. (≥35% F.S）；±0.35% F.S. (<35% F.S.)；

2、產品通過十萬次重復性測試，重復精度高達±0.2%F.S.；

3、耐壓強度為3MPa，最大工作壓力可達0.45MPa（可定制0.6MPa），能滿足市面上大部分的客戶需求；

4、1×10-10 Pa·m3 / sec H的低泄露率，氣密性好，保障生產安全；

5、無需預熱，快速響應，流量控制穩定；

6、流量范圍覆蓋多個量程，從5SCCM到200SLM（可定制），能適應多種場景需求；

7、可同時支持數字信號，0～5V 模擬信號，4～20mA或 0~20mA 模擬信號，方便客戶選擇；

8、使用雙電源（±15 VDC）或單電源（+15～+28 VDC）；

9、提供功能強大的免費客戶端上位機軟件；

10、定制化解決方案，支持自動故障報警；

11、標準開放的通訊協議為客戶自行開發控制、采集軟件提供便利

多領域多場景應用廣泛

氣體質量流量控制器（AS200系列）用于對氣體的質量流量進行精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括:集成電路工藝設備, 如外延爐、擴散爐、CVD、等離子刻蝕機、濺射臺、離子注入機; 以及鍍膜設備、光纖熔煉設備、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣裝置、毛細管測量儀、氣相色譜儀及其它分析儀器。

審核編輯 黃宇