Dage Quadra7介紹
作為Dage Quadra 系列中前沿的產(chǎn)品,Dage Quadra7擁有出色的亞微米級(jí)高分辨率和襯度,可實(shí)現(xiàn)細(xì)微缺陷清晰展現(xiàn)。
采用高功率(160kV 20W)X射線源技術(shù),相較同類(lèi)產(chǎn)品(15W)大大提升了X射線通量,在維持小焦點(diǎn)尺寸的同時(shí)提高了成像效率、襯度和信噪比。
在10W以內(nèi)可實(shí)現(xiàn)0.1um的分辨率。
配有670萬(wàn)像素的C-MOS平板探測(cè)器,幾何放大倍數(shù)可達(dá)2500倍。

JIMA卡專(zhuān)用于測(cè)量X射線系統(tǒng)的分辨率,以保證X射線系統(tǒng)在微米和納米焦點(diǎn)的圖像質(zhì)量。
DageQuadra7 JIMA卡實(shí)測(cè)可達(dá)到最高的分辨0.4um。
失效分析:細(xì)微缺陷及T角度觀察Via

失效分析:自動(dòng)測(cè)量孔洞率與球徑及數(shù)據(jù)導(dǎo)出


特殊能力:輻射累積測(cè)試
Dage Quadra7可通過(guò)曝光距離、管電壓、管功率、暴露時(shí)間等參數(shù)計(jì)算得到樣品所受輻射劑量。方便進(jìn)行輻射累積實(shí)驗(yàn)及芯片軟失效分析。
劑量單位為拉德(rad),1rad=0.01Gy


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原文標(biāo)題:季豐先進(jìn)2DX-ray分析能力介紹
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