大家好，我是【廣州工控傳感★科技】EPL傳感器事業部，張工。

EPL是一款表面貼裝式壓力傳感器，其不銹鋼隔離膜式設計。多種量程，測量范圍從0~5至1000psi，同時，EPL壓力傳感器的非重復性為±0.25%FSO，確保了測量的低誤差。此外，EPL系列壓力傳感器的諧振頻率范圍為40~350kHz，具有寬頻率測量范圍，動態測量時最大限度地保證測量不失真。EPL具有的溫度性能，其工作溫度范圍為-40~+120℃，可在高溫環境下的應用。同時，最大溫度補償范圍為-40~+90℃，在寬溫度范圍內確保了壓力測量精度，降低溫度變化對測量誤差的影響。EPL采用小型表面貼裝，使用合成橡膠或環氧樹脂，可輕松將EPL安裝于平面上。

EPL的特點：

測量范圍0~5至1000psi；

非重復性±0.25%FSO；

諧振頻率范圍為40~350kHz；

工作溫度范圍-40~+120℃；

最大溫度補償范圍-40~+90℃；

采用小型表面貼裝，使用合成橡膠或環氧樹脂；

EPL的應用：化學處理汽車試驗臺常見的實驗室測量

另外EPB采用的量程從 0-5 到 5000 psi（0-0.35 到 350 bar），包括表壓，密封壓和絕壓。 EPB的直徑可以小到 3.2mm，響應頻率從 55 到 400 kHz，適合動態和靜態測量。可選多種補償溫度范圍，從 -40°C 到 90°C。

下面講講EPB和EPL的加工新技術。

微細加工技術微細加工技術：包括光刻、腐蝕、氧化、擴散等技術，其中光刻和腐蝕技術應用最多。 在腐蝕技術中，由于濕法腐蝕方法簡單，常用的腐蝕液有乙醇二胺、鄰苯二酚和水。 750ml：120g：240ml比例的混合液具有各向異性腐蝕特性，適用于各種特殊形狀的加工； KOH和水或異丙酮按44g：100ml配制的溶液，腐蝕速率與硅片的晶向有關，最適合晶向較深的凹槽。 這兩種蝕刻液都不能蝕刻摻硼的硅，因此可以通過摻硼來精確控制尺寸。 另一種常用的蝕刻劑是以 1:2:1 制備的 HF:HNO3 和乙酸。 腐蝕速度快，但選擇性不強，只能掩蔽。

微細加工是利用硅的各向異性腐蝕特性和與摻雜濃度有關的腐蝕速率，對硅材料進行精細加工，制成復雜的敏感元件。 例如，制造重量輕、密封良好、生物相容的硅微型醫療傳感器，可以吞入藥丸中。 如果通過化學蝕刻的方法在硅材料或其他材料上選擇性地進行微機械加工，如開孔、減薄、開槽等，形成微機械元件，就可以制成硅壓力、加速度、氣體和醫療傳感器。 這種微米級加工技術是一種蝕刻技術，也是一種微細加工技術。

離子注入技術：離子注入技術是半導體敏感元件的主要制備工藝。 它利用電荷來控制雜質，可以將注入量控制在1010~106μm2范圍內，因此可以精確控制PN結的深度，實現多種不同特殊離子的摻雜，尤其是特殊離子的摻雜。 離子，可修飾半導體表面，可替代等離子CVD或濺射技術制備多晶材料，避免水、氧等外來雜質的污染，提高敏感元件的性能。