三坐標測量儀和激光干涉儀不是同一類型的東西，功能完全不一樣。

首先說一下三坐標測量儀，三坐標測量儀主要是用來測量各類大小工件的輪廓尺寸，有固定式的，也有關節臂式的，其中移動橋式是三坐標最為廣泛的一種結構形式。這種結構特點是開敞性好，視野開闊，上下零件方便，運動速度快，精度高。Mars移動橋式三坐標測量機配備高精度的導軌、測頭和控制系統，并結合計算機程序來自動控制檢測流程，從而計算輸出測量結果，支持測頭更換架以及影像相機，同時支持精密轉臺等，能夠對各種零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關系進行檢測，也可以對軟材質或復雜零件進行光學掃描測量。

激光干涉儀它不是測工件尺寸的，它主要是測量機床、自動化設備的定位精度和重復定位精度，目前代表品牌是chotest。

SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現最高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。