SuperViewW1白光干涉儀測量小尺寸樣品時，可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標準行程為140*110mm，局部位移精度可達亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數值可達0.4um，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件；而測量大尺寸樣品時，支持拼接功能，將測量的每一個小區域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um。

測量方法

1.點擊XY復位，使得鏡頭復位到載物臺中心
2.將被測物放置在載物臺夾具上，被測物中心大致和載物臺中心重合；
3.確認電機連接狀態和環境噪聲狀態滿足測量條件；
4.使用操縱桿搖桿旋鈕調節鏡頭高度，找到干涉條紋；
5.設置好掃描方式和掃描范圍；
6.點擊選項圖標，確認自動找條紋上下限無誤；
7.點擊多區域測量圖標，可選擇方形和（橢）圓形兩種測量區域形狀；
8.根據被測物形狀和尺寸，"形狀”欄選擇“橢圓平面”，X和Y方向按需設置；
9.點擊彈出框右下角的“開始”圖標，儀器即自動完成多個區域的對焦、找條紋、掃面等操作。