白光干涉儀是用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。白光干涉儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

在相同物鏡放大的條件下，共聚焦顯微鏡所展示的圖像形態細節更清晰更微細，橫向分辨率更高。如同為微納檢測的利器，共聚焦顯微鏡卻是與白光干涉儀有著諸多不同，如果用一個字眼來形容，那么白光干涉儀是“文”，而共聚焦顯微鏡是“武”。白光擅長亞納米級超光滑表面的檢測，追求檢測數值的精準；而共聚焦擅長微納級粗糙輪廓的檢測，雖在檢測分辨率上略遜一籌，但能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

激光共聚焦儀是用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。激光共聚焦儀以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

1）結構簡單：儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成，控制單元集成在設備主機之內，亦可采用筆記本電腦驅動，真正實現了“拎著走”的便攜式設計；
2）真彩圖像：配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節的展現纖毫畢現；

3）操作便捷：采用全電動化設計，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格，實現了所見即所得的快速檢測效果；
4）安全無憂：采用自研的電動鼻輪塔臺，并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能輕松應對。