鎢燈絲掃描電鏡

性價比高、易于維護、操作相對簡單、對場地要求較小

便于大眾使用

但長期以來

鎢燈絲掃描電鏡的分辨率都停滯不前

難以實現用戶對更高分辨率的追求

國儀量子于近日推出的鎢燈絲掃描電鏡SEM3300

鎢燈絲掃描電鏡SEM3300

成功將20 kV分辨率提升至2.5 nm，比普通鎢燈絲電鏡提高了16%！

3 kV分辨率為4 nm，相比提高了2倍！

1 kV分辨率為5 nm，相比提高了3倍！

在所有電壓段均大幅度超越普通鎢燈絲電鏡

重新定義了鎢燈絲掃描電鏡的行業標準！

SEM3300實拍見真章

下面三張圖是不同電壓下標準金顆粒的實拍圖，每個顆粒大小在300 nm左右，邊緣銳利、細節豐富、高低分明。

使用SEM3300拍攝的不同電壓下標準金顆粒的圖像

眾所周知，鋰電池中的隔膜材料導電性差、孔隙微小，必須用低電壓高分辨的場發射電鏡才能拍到較好的圖像。

圖a是常規鎢燈絲電鏡的拍攝效果,細節模糊不清晰。SEM3300在這一難題面前，毫不費力地完成任務，1 kV下隔膜孔隙清晰可見，孔洞邊緣銳利，足以勝任隔膜檢測（圖b）。

圖a：常規鎢燈絲電鏡拍攝的鋰電池隔膜，細節模糊不清晰

圖b：SEM3300拍攝的鋰電池隔膜，隔膜孔隙清晰可見，孔洞邊緣銳利

SEM3300國儀量子如何重新定義鎢燈絲掃描電鏡？

國儀量子電鏡研發團隊分析了限制鎢燈絲電鏡分辨率的主要因素：

鎢燈絲發射結構為陰極、柵極、陽極的3電極結構，在加速電壓較低時，燈絲亮度將受空間電荷效應和電子源像差等因素的影響而大幅降低。

在低著陸能量下，能散帶來的色差和衍射像差都很大，導致束斑偏大。

為了保證側向二次電子探測器的收集效率，工作距離比較大，物鏡放大倍數不夠大。

針對以上問題，國儀量子在鏡筒內增加了一根從陽極直達物鏡極靴的10 kV高壓管，我們形象地稱之為高壓隧道。

這里以1 kV著陸能量為例進行分析：

在高壓隧道的上端：陰極與陽極之間形成11 kV的強電場，燈絲表面場強極高，大量熱電子克服空間電荷效應對束流亮度的限制，顯著地提高了束流亮度。

在高壓隧道的另一端：管口與物鏡下極靴形成一個10 kV的減速場電透鏡，該電透鏡與磁透鏡形成復合物鏡，從而有效降低該復合物鏡球差系數和色差系數。

此外，鏡筒內的電子探測器可以在極短的工作距離下，收集大部分被加速的二次電子，具有高達90%的收集效率，相比傳統鎢燈絲的旁側ET探測器信號強度高出數倍。

綜合以上所有創新舉措，SEM3300最終在全電壓范圍內打破了數十年來鎢燈絲極限分辨率的天花板，重新定義鎢燈絲掃描電鏡。