垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成，詳見下面垂直度測量光路原理構件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過程中保持原位，且不進行調整；光學角尺用于至少在其中一次直線度測量中，允許調整激光束與軸的準直。垂直度誤差＝光學直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。

激光干涉儀可以實現機床線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測。

如機器軸垂直度誤差測量（數控機床、坐標測量機等），SJ6000激光干涉儀垂直度測量是通過比較直線度值從而確定兩個標稱正交坐標軸的非直角度，即在同一基準上對兩個標稱正交軸分別進行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進行比較，得出兩個軸的垂直度。共同的參考基準通常指的是兩次測量時反射鏡的光學準直軸，在兩次測量過程中既不移動、也不調整，光學直角尺測量中，允許調整激光束與直線度的準直，而不動直線度反射鏡。

典型情況下對于1.5米長的機器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學方法是好選擇，因為傳統的實物基準，如直角尺（金屬或大理石等）的長度一般局限于1米的范圍內。

SJ6000激光干涉儀應用范圍廣：
①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測；
②結合軟件系統，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析；
③可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析。