Mars系列是移動橋式的三坐標測量機。支持觸發、掃描和非接觸式探測系統。能夠對各種零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關系進行檢測，也可以對軟材質或復雜零件進行光學掃描測量。并且支持測頭更換架以及影像相機，同時支持精密轉臺等。

主機結構分為：
1、框架，是指測量機的主體機械結構架子。它是工作臺、立柱、橋框、殼體等機械結構的集合體；
2、標尺系統，是測量機的重要組成部分，是決定儀器精度的一個重要環節。
3、導軌，是測量機實現三維運動的重要部件。Mars系列三坐標測量機采用滑動導軌、滾動軸承導軌和氣浮導軌，而以氣浮靜壓導軌為主要形式。氣浮導軌由導軌體和氣墊組成，有的導軌體和工作臺合二為一。
4、驅動裝置，是測量機的重要運動機構，可實現機動和程序控制伺服運動的功能。
5、平衡部件，主要用于Z軸框架結構中。它的功能是平衡Z軸的重量，以使Z軸上下運動時無偏得干擾，使檢測時Z向測力穩定。如更換Z軸上所裝的測頭時，應重新調節平衡力的大小，以達到新的平衡。
6、轉臺與附件，轉臺是測量機的重要元件，它使測量機增加一個轉動運動的自由度，便于某些種類零件的測量。轉臺包括分度臺、單軸回轉臺、萬能轉臺（二軸或三軸）和數控轉臺等。用于坐標測量機的附件很多，視需要而定。

選配件

1.冷干機
三坐標用氣源的初級空氣過濾，除水，除油，為三坐標本身所配置的精密過濾系統減輕壓力，有效延長測量機的使用壽命。
2.UPS穩壓電源
提供電壓及斷電延遲保護，防止客戶現場因為電壓不穩定造成測量機元器件的損壞及防止因意外斷電造成正在測量過程中的數據丟失。
3.測頭更換架
由于被測工件的復雜性，在實際測量工作中不可能由一個探針完成所有的測量任務，更換架可對測量機測座上的測頭/加長桿/探針組合進行快速、可重復性的更換，在同一測量系統下對不同的工件進行自動化的檢測。
4.夾具
三坐標夾具使用在測量機上，利用其模塊化的支持和參考裝置，完成對所測工件的柔性固定。
5.打印機
打印機可用于將測量報告打印輸出。