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激光干涉儀測量機床精度之線性測量

中圖儀器 ? 2022-11-02 11:39 ? 次閱讀
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數控機床因為高精度、高效率、多功能等優點,廣泛應用于各行業中。為了保證機床的加工精度,需要用到激光干涉儀對它們做定期精度檢查,這樣才能保證加工產品的質量。線性測量是激光干涉儀用來檢定機床定位精度的一種常見測量。

線性測量構建

進行線性測量需使用到“線性干涉鏡”(由分光鏡和角錐反射鏡A組 成)和“線性反射鏡”(角錐反射鏡B)。激光從SJ6000主機(激光頭)出射,通過分光 鏡后將分成兩束激光,一束激光為通過角錐反射鏡A的參考光,另一束激光為通過角錐反 射鏡B的測量光,通過移動“線性反射鏡”可實現運動軸的線性測量。

poYBAGNh4L-AOKqOAADAdMPp1po821.png線性測量原理構建圖

pYYBAGNh4MmAPB8qAACD9eDtuHc409.png水平軸的線性測量示意圖

poYBAGNh4M6AEFQcAACFiQK6ETc153.png垂直軸的線性測量示意圖

SJ6000激光干涉儀采用激光雙縱模熱穩頻技術,可以輸出高精度、抗擾力強、高穩定性的激光頻率。其線性測量可滿足(0?80)m范圍內的精密測量,主要應用于測量直線導軌的定位精度、重復 定位精度和反向間隙等。

pYYBAGNh4OSAXtA0AAI_0T_jZZI050.png數控機床的線性測量

poYBAGNh4PWAbj1HAAIRFohK6vA122.png數控機床傾斜軸的線性測量


線性測量步驟:
1、設置激光器系統以執行線性測量;
2、使激光束與機床的運動軸準直;
3、啟動自動環境補償功能,確保在軟件中輸入正確的材料膨脹系數;
4、測量和記錄機床的線性誤差;
5、分析數據。

注意事項

1、線性測量過程尤其是在測量與激光頭成直角的水平軸和垂直軸、斜軸的時候,光路調節困難,這時候就需要巧妙安裝反射鏡和折射鏡。
2、使用光靶能簡單準直激光束
3、在開始測量時,或者在返程測量時激光干涉儀不踩點,可能原因有:
(1)光強太弱;
(2)當返回測量時,激光干涉儀不采集數據。這時候要分析“越程”量設置是否正確,或是機床在程序運行中有沒有考慮“越程”。
4、線性反射鏡箭頭方向就是激光進行方向,一定要正確組合線性反射鏡組。
5、反射鏡組的一條邊棱與永磁體座盡量平行或垂直,這將為后面進行找正光源做好基礎。
6、激光頭預熱時間會根據氣溫的變化而變化,所以在測量數據前要保證在激光波長穩定后進行。
7、測試工作完成后,應先將激光頭電源關掉,關閉電腦

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