自昊量光電推出全新的六軸位移臺以來，ALIO Industries的Hybrid Hexapod徹底改變了6D運動的方法，并重新定義了運動控制在需要平整度和直線度加上剛度的應用中的作用，如納米加工和精準對位貼合技術中的應用。

ALIO工業公司總裁Bill Hennessey表示:“在6自由度(6DOF)納米技術應用領域，Hybrid Hexapod技術允許在納米級精度的運動中提供身體所有6DOF性能的文件證明。因此，它是獨一無二的，這是第一次成為可能。我們現在看到領先技術研發人員在光學、半導體、制造、計量、激光加工和微加工領域致力于納米應用，并取得了以前無法企及的成功。”

所有的傳統六足位移臺運動系統都在三維空間內運行，并且在所有的六個自由度上都存在誤差。然而，傳統六足位移臺的運動系統通常只能用單自由度的運動數據來表征。這種做法在幾個自由度上留下了誤差來源，特別是在平面和直線度方面，這是納米級別的關鍵精度需求。所以說，一個傳統的六足位移臺在測量行程的平整度和直線度時，每軸會損失幾十微米的精度。慶幸的是，Hybrid Hexapod完全克服了這些問題。

Hennessey繼續說道:“因為傳統六足位移臺有六個獨立控制的連桿連接在一起，移動一個共同的平臺，平臺的運動誤差將是所有連桿和關節誤差的函數。眾所周知，傳統六足位移臺在執行z軸運動時具有最佳的精度和可重復性，因為所有連桿在相同的相對連桿角上執行相同的運動。然而，當任何其他X、Y、俯仰、偏航或搖擺運動被指令時，由于所有連桿執行不同的運動，傳統六足位移臺的精度和幾何路徑性能大幅下降。傳統六足位移臺的關節不精確，運動控制器無法實現正運動學和逆運動學方程，因此誤差的來源更加明顯。”

Hybrid Hexapod由ALIO開發，旨在解決傳統傳統六足架設計的關鍵弱點，以及堆疊串行級的弱點，并在運動過程中實現納米級的精度、可重復性和高完整性的平面和直線度。它采用了一個三腳架平行運動學結構來提供Z平面和尖端/傾斜運動，集成了一個整體串行運動學結構來進行XY運動。一個旋轉平臺集成到三腳架的頂部(或下面，根據應用需要)提供360度的連續偏航旋轉。在這種混合設計中，每個軸可以定制，提供從毫米到1米以上的行程范圍，同時保持納米級的精度。

Hennessey總結道:“讓我們看看4K鏡頭的制造商。典型的4K鏡頭需要極其高科技的材料技術，精密的組裝實踐，以及非常復雜的制造工藝和技術。所有方向的公差幾乎為零用于制造透鏡的制造過程經常會導致誤差，這就是為什么它們需要不斷的主動對準。傳感器和鏡頭對齊，多個目標沿著鏡頭投影到傳感器，然后拍攝圖像。調制傳遞函數(MTF)總是由主動對準裝置不斷監測，以保持每個MTF值在預先確定的范圍內。當滿足限度時，用紫外光對膠粘劑進行部分固化，然后再進行完全熱固化。這確保了在對準鏡頭和傳感器平面時的極端準確性。Hybrid Hexapod被證明是這種應用的完美選擇，因為它的絕對重復性和精度可以一次又一次地產生準確的結果。”

“必須激勵在可能的前沿工作的工程師提出更多要求，因為他們看到這項技術可以實現其他人無法實現的目標，具有促進創新的潛力，并且可以優化制造的效率和成本效益。Hybrid Hexapod 比傳統六足位移臺精度高出幾個數量級，剛性提高100倍，速度提高30倍，可用工作范圍是傳統六軸位移臺的10倍。

和傳統六足設備同類型型號主要參數對比優勢

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