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國產陸芯LX6366精密劃片機應用于Mini/Micro LED模組切割

博捷芯半導體 ? 2022-04-14 17:42 ? 次閱讀
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LED顯示屏向miniLED的發展意味著LED尺寸的減小,LED尺寸的減小使得加工過程中的切割誤差容限越來越低,對細度的要求越來越高。此外,LED芯片和光珠尺寸的減小意味著相同面積的晶圓或PCB板上切割出的顆粒越多,因此對切割機的效率也提出了更高的要求。

然而,傳統的半自動砂輪切割設備采用手動送料和下料操作。由于人工操作,工件安裝位置不準確,加工精度低,勞動強度高,自動化程度低,廢品率高,加工效率低。傳統的半自動砂輪切割晶圓的方法已經無法滿足晶圓產品高效率、高精度的生產需求。

LED產業需要全自動、高精度的切割機來滿足生產需求。在國內設備制造商中,陸芯半導體是中國最早從事LED相關設備制造的企業之一,其業務涉及顯示屏、背光和照明領域。陸芯劃片機事業部致力于劃片機的研發、生產和銷售,幫助客戶解決精密切割技術問題。

陸芯精密劃片機采用自主研發的軟件控制系統,具有單/雙向切割模式。可根據通道或工件選擇切割方式,可切割矩形、圓形等不同形狀的工件。此外,該設備配備高精度DD電機驅動,重復精度1μm,以確保精度和加工平整度。同時,該設備具有自動對焦功能,具有CSP切割功能,具有在線刀痕檢測功能,NCS非接觸測高,BBD刀破損檢測,自動修磨法蘭功能。

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目前陸芯精密劃片機設備有多種類型:LX3252 6英寸精密劃片機、LX3352 12英寸精密劃片機、LX3356 8-12英寸兼容精密劃片機、LX6366全自動雙軸劃片機、LX6636全自動單軸劃片機。

全自動雙軸晶圓劃片機主要用于半導體晶圓、集成電路、QFN、發光二極管、miniLED、太陽能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉,將晶圓或器件沿切割道方向進行切割或開槽。 機型實現了晶圓從裝片、對準、切割、清洗到卸片的自動化操作。該機型配置了大功率對向式雙主軸,Z1和Z2軸上都配置了NCS和專用顯微鏡,大幅度減少對準和檢查時間,從而降低人工成本、提高生產效率。

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