10.9.1 導電原子力顯微鏡(CAFM)∈《集成電路產業全書》
Conductive Atomic Force Microscope(CAFM)
審稿人：北京大學 張嘉陽
審稿人：北京大學 王潤聲
https://www.pku.edu.cn
10.9先進表征技術與測試技術
第10章 集成電路基礎研究與前沿技術發展
《集成電路產業全書》下冊
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