AEC-Q101標準是用于分立半導體器件的,標準全稱:Failure Mechanism Based Stress Test Qualification For Discrete Semiconductors,基于分立半導體應(yīng)力測試認證的失效機理,名字有點長,所以一般就叫“分立半導體的應(yīng)力測試標準”?,F(xiàn)在的Rev E版本是2021.03.01剛發(fā)布的最新版。
AEC-Q101認證包含了分立半導體元件最低應(yīng)力測試要求的定義和參考測試條件,目的是要確定一種器件在應(yīng)用中能夠通過應(yīng)力測試以及被認為能夠提供某種級別的品質(zhì)和可靠性。
AEC-Q101按Wafer Fab晶圓制造技術(shù),分為以下幾種,主要是MOS、IGBT、二極管、三極管、穩(wěn)壓管、TVS、可控硅等。

AEC-Q101分立半導體器件(來源:aecouncil.com)
根據(jù)AEC-Q101-2021新版規(guī)范,認證測試通用項目大大小小算起來共有37項,但并非所有的測試項目都需要測試,需要依據(jù)不同的器件類型,封裝形式,安裝方式等等來選擇要進行的測試項目。
AEC-Q101標準將試驗項目分為5個大組,以某型號SOT23封裝的MOSFET為例,AECQ101認證應(yīng)選擇哪些測試項目和條件,以及不選擇此項目的原因說明,以下是按組介紹需要測試項目的清單。
GroupAGroup A加速環(huán)境應(yīng)力試驗共有10個項目,AC高壓和 H3TRB高溫高濕反偏做為可選項可不用進行,PTC功率溫度循環(huán)在IOL間隙壽命不能滿足才做,TCDT溫循分層試驗和TCHT溫循熱試驗不適用在銅線連接的器件上執(zhí)行測試。
| TEST GROUP A–ACCELERATED ENVIRONMENT STRESS TESTS | ||||
| 序號 | 編碼 | 項目 | 縮寫 | 條件或說明 |
| 1 | A1 | 預處理 | PC | 僅在測試A2、A3、A4、A5和C8之前對表面安裝零件(SMD)進行測試 |
| 2 | A2 | 高加速應(yīng)力試驗 | HAST |
條件二選一 條件一:TA=130℃,85%RH,96H 條件二:TA=110℃,85%RH,264H。加反向偏置電壓=80%額定電壓,前后都要測試電氣參數(shù) |
| 4 | A3 | 無偏高加速應(yīng)力試驗 | UHAST |
條件二選一 條件一:TA=130℃,85%RH,96H 條件二:TA=110℃,85%RH,264H,前后都要測試電氣參數(shù) |
| 6 | A4 | 溫度循環(huán) | TC | 溫度-55℃~最高額定Tj溫度,不超過150℃,1-3循環(huán)/小時,按組件等級選擇1CPH,1000個循環(huán)。前后都要測試電氣參數(shù),依據(jù)2.4判定 |
| 9 | A5 | 間隙工作壽命 | IOL | TA=25℃,器件通電保證TJ變化量≥100℃(不超過最大額定值),循環(huán)數(shù)循環(huán)數(shù)=60000/(通電分鐘+斷電分鐘)。前后都要測試電氣參數(shù),依據(jù)2.4判定 |
GroupB
Group B加速壽命模擬試驗共有4個項目,ACBV交流阻斷電壓僅適于晶閘管,SSOP穩(wěn)態(tài)運行僅適于TVS二極管。
| TEST GROUP B–ACCELERATED LIFETIME SIMULATION TESTS | ||||
| 序號 | 編碼 | 項目 | 縮寫 | 條件或說明 |
| 11 | B1 | 高溫反向偏壓 | HTRB | 在用戶規(guī)格中最大直流反向額定電壓,通過溫箱調(diào)整結(jié)溫防止失效,保持1000小時,前后都要測試電氣參數(shù) |
| 14 | B2 | 高溫柵偏壓 | HTGB | 柵級偏置器件關(guān)閉時最大電壓100%,在指定結(jié)溫下(推薦結(jié)溫125℃)1000小時,前后都要測試電氣參數(shù),做5個件的Decap,線拉力。 |
GroupC
Group C封裝完整性試驗15個項目,TS端子強度適用于通孔引線器件的引線完整性,RTS耐溶劑性對于激光蝕刻或無標記器件不用進行。CA恒定加速,VVF變頻振動,MS機械沖擊,HER氣密性這四項適用于氣密封裝的器件。
| TEST GROUP C–PACKAGE ASSEMBLY INTEGRITY TESTS | ||||
| 序號 | 編碼 | 項目 | 縮寫 | 條件或說明 |
| 15 | C1 | 破壞性物理分析 | DPA | 開封過程確保不會導致引線和鍵的退化 |
| 16 | C2 | 物理尺寸 | PD | 依據(jù)產(chǎn)品規(guī)格書測量封裝物理尺寸 |
| 17 | C3 | 邦定線抗拉強度 | WBP |
條件C和條件D,金線直徑>1mil在TC后最小拉力為3克,金線直徑<1mil,請參閱 MIL-STD-750-2方法2037作為指南 最小拉力強度。金線直徑<1mil,施力點靠近焊點,而不是在線中間。 |
| 18 | C4 | 邦定線剪切強度 | WBS | 銅線剪切參考JESD22-B116 |
| 19 | C5 | 芯片剪切力 | DS | 評估制程變更的穩(wěn)健性,依據(jù)表3的指導進行C5測試 |
| 22 | C8 | 耐焊接熱 | RSH | SMD部件應(yīng)全部在測試期間被浸沒,根據(jù)MSL進行預處理等級,前后都要測試電氣參數(shù) |
| 23 | C9 | 熱阻 | TR | 測量TR以確保符合規(guī)范 |
| 24 | C10 | 可焊性 | SD | 放大50X,參考表2B焊接條件,SMD采用方法B和D |
| 25 | C11 | 晶須生長評價 | WG | 可商定,溫度沖擊-40~+85℃,1小時2循環(huán),1500循環(huán),試驗后采用SEM進行錫須觀察 |
GroupD
Group D模具制造可靠性試驗1個項目
| TEST GROUP D– DIE FABRICATION RELIABILITY TESTS | ||||
| 序號 | 編碼 | 項目 | 縮寫 | 條件或說明 |
| 30 | D1 | 介質(zhì)完整性 | DI |
以1V為增量增加電壓同時監(jiān)控柵極電流, 介電強度定義為柵前的柵電壓讀數(shù), 電流增加了一個數(shù)量級,記錄并報告每個DUT的電壓和電流,評估制程變更的穩(wěn)健性,依據(jù)表3的指導進行D1測試 |
GroupE
Group E電氣驗證試驗6個項目。UIS鉗位感應(yīng)開關(guān)僅限功率 MOS半導體和內(nèi)部箝制IGBT,SC短路特性僅適用于智能功率器件。
| TEST GROUP E– ELECTRICAL VERIFICATION TESTS | ||||
| 序號 | 編碼 | 項目 | 縮寫 | 條件或說明 |
| 31 | E0 | 外觀檢查 | EV | 所有的樣品都要檢查 |
| 32 | E1 | 應(yīng)力測試前后電性能測試 | TEST | 在室溫下進行 |
| 33 | E2 | 參數(shù)驗證 | PV | 額定溫度驗證參數(shù) |
| 34 | E3 | ESD HBM | ESDH | 前后都要測試電氣參數(shù) |
| 35 | E4 | ESD CDM | ESDC | 前后都要測試電氣參數(shù) |
AEC-Q101認證準備



AEC-Q101驗證流程

華碧實驗室車規(guī)電子檢測認證
華碧實驗室是國內(nèi)領(lǐng)先的集檢測、鑒定和認證為一體的第三方檢測與分析的新型綜合實驗室,是質(zhì)量和誠信的基準。華碧實驗室擁有豐富的車規(guī)級電子認證經(jīng)驗,已成功協(xié)助300多家汽車分立半導體企業(yè)制定相對應(yīng)的AEC-Q101驗證步驟與實驗方法,并順利通過AEC-Q系列認證。
華碧實驗室憑借廣泛的服務(wù)網(wǎng)絡(luò),專業(yè)的技術(shù)團隊及先進的實驗室,提供全面的半導體產(chǎn)業(yè)解決方案,服務(wù)范圍覆蓋供應(yīng)鏈上下游,幫助分立器件廠商把控良率并順利進入車廠供應(yīng)鏈,助力其產(chǎn)品在市場端建立穩(wěn)固的質(zhì)量信任,推動國產(chǎn)半導體產(chǎn)業(yè)取得新的技術(shù)突破與穩(wěn)健的持續(xù)性發(fā)展。

審核編輯黃宇
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