衍射光柵是一種高分辨率的光學色散元件。隨著衍射光柵制造技術的不斷發展，各類型的光柵相繼而出，光柵的用途也日益廣泛，如今衍射光柵不僅可用于光譜學，還能廣泛用于慣性約束聚變、激光加工、天文、計量、光通訊、AR顯示等眾多領域。

05光柵在超快激光器中應用

超快激光加工是一種新興的材料加工技術。由于其加工精度高、沒有熱效應等優點，該技術已經在精密加工、生物醫療等領域得到了廣泛的應用。

啁啾脈沖放大（CPA）技術的基本原理是在時域上對未放大的超短脈沖進行展寬，從而有效地避免了在放大的過程中極高的峰值功率損傷增益介質，以及一系列的非線性效應引起脈沖波形的畸變。最后利用壓縮器將功率放大后的展寬脈沖在時域上重新壓縮回超短脈沖。

CPA技術在保持脈沖質量的同時將峰值功率提升了近10個數量級，達到TW級別，從而使超快激光被應用在加工領域成為可能。脈沖的展寬和壓縮大多數都是由衍射光柵來完成的。

06光柵在精密位移計量中應用

***是生產半導體芯片的核心設備，在半導體芯片制造過程中***的掩模臺、工件臺的定位精度直接影響半導體芯片加工的線寬。因此，在***中需設置高精度的位移測量系統以保證掩模臺、工件臺的運動精度和定位精度。

目前高精度位移測量方法包括激光干涉儀和光柵尺位移測量系統。光柵尺位移測量系統是以光柵的周期作為基準，也可以獲得與激光干涉儀相類似的測量分辨率。

和激光干涉儀相比，光柵尺的讀數頭結構緊湊，受空氣擾動影響小，環境溫度變化帶來的誤差也可通過使用極低熱膨脹系數材料等技術手段縮減到最小。因此在一般工況條件下能夠具有較好的測量精度和穩定性，有助于開發超高精度微位移監測裝置。

審核編輯：湯梓紅