在半導(dǎo)體檢測(cè)等諸多應(yīng)用中，寬光譜光源是必備物件。比較常見的有氘燈、鎢燈、氙燈等，但這些傳統(tǒng)光源卻存在一些固有的問題。

光譜測(cè)量范圍上，它們都無法在200 nm-800 nm范圍內(nèi)保持較高的輸出；壽命、亮度和穩(wěn)定性上，傳統(tǒng)光源需要在使用幾百小時(shí)或更短時(shí)間就進(jìn)行重新校準(zhǔn)，使用1000-2000小時(shí)后還需更換燈泡。

而歸根結(jié)底，這些都是其發(fā)光原理而帶來的“先天性”缺陷。傳統(tǒng)光源為電致發(fā)光，即通過光源燈室電極加高壓激發(fā)燈室中氣體放電，從而發(fā)光。這種使用電極耦合產(chǎn)生等離子體的方式，在亮度、穩(wěn)定性、UV波長(zhǎng)覆蓋、壽命上都有很大的限制。

因此，從發(fā)光原理上進(jìn)行變化，光源才有可能得到真正意義上的改善。今天我們將要聊到的“激光驅(qū)動(dòng)白光光源（Laser Driven Light Source, LDLS）”正是完成了這一華麗轉(zhuǎn)變。

LDLS光源

什么是激光驅(qū)動(dòng)白光光源（LDLS）？

激光驅(qū)動(dòng)白光光源（Laser Driven Light Source, LDLS）是由美國(guó)著名EUV光源公司Energetiq（現(xiàn)已被濱松集團(tuán)收購(gòu)）開發(fā)并擁有專利技術(shù)的產(chǎn)品，也曾獲得被譽(yù)為光學(xué)界“奧斯卡”的“Prism Award”（棱鏡獎(jiǎng)）。

其整體由一個(gè)特殊設(shè)計(jì)的燈室，驅(qū)動(dòng)激光光源，激光聚焦光路，光源輸出光路，光源控制器等主要部分組成。和傳統(tǒng)電致發(fā)光光源原理不同，其采用無電極結(jié)構(gòu)，將外置1000 nm左右波長(zhǎng)的激光匯聚到光源燈室中，加熱氙等離子體至足夠高溫時(shí)便會(huì)發(fā)光。

LDLS有高效的光收集能力，亦可在深紫外至可見光以及更寬的光譜范圍（170 nm ~ 2100 nm）內(nèi)提供超高發(fā)光亮度，其在DUV的亮度是傳統(tǒng)光源如氙燈的10倍以上。另外，整個(gè)光源的發(fā)光壽命相比較于傳統(tǒng)光源也高出近一個(gè)數(shù)量級(jí)（>9000 h），且穩(wěn)定性得到了極大的提高。

非常適合應(yīng)用于寬光譜檢測(cè)、OCD量測(cè)、薄膜測(cè)厚、overlay量測(cè)、in situ量測(cè)、反應(yīng)腔監(jiān)控、終點(diǎn)檢測(cè)等半導(dǎo)體領(lǐng)域，以及光學(xué)傳感器/組件/光纖檢測(cè)、生物/材料科學(xué)等領(lǐng)域。為目前在使用傳統(tǒng)弧光燈，但是苦于頻繁更換、波長(zhǎng)覆蓋不足、亮度不夠的用戶，提供了一個(gè)新的選擇。

LDLS的優(yōu)勢(shì)點(diǎn)

170 nm-2100 nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)具有超高亮度

100μm量級(jí)發(fā)光等離子體即可實(shí)現(xiàn)

輻照度＞10-100 mW/mm.sr.nm（波長(zhǎng)相關(guān)）

超快速測(cè)量

光纖耦合或自由空間光束輸出

光學(xué)靈活性高

無電極結(jié)構(gòu)

超長(zhǎng)壽命、超高穩(wěn)定性、超低成本

審核編輯黃宇