實現(xiàn)第三代半導體——SiC（碳化硅）芯片自主量產(chǎn)并達到國際領(lǐng)先水平，裝載百萬輛新能源車，助力國內(nèi)新能源汽車產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展，保障國內(nèi)車企供應鏈安全。位于江寧開發(fā)區(qū)的國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心（南京）平臺（以下簡稱南京平臺），不斷取得科技創(chuàng)新領(lǐng)域突破。前天，記者來到中心探訪。

南京平臺超凈廠房內(nèi)，一臺臺精密儀器正在工作。偌大的車間里，科研人員坐在電腦前操控，許多設(shè)備已經(jīng)自動化運行。在一個生產(chǎn)車間內(nèi)，自動測試臺正在對一片已完工的6英寸SiC晶圓進行測試，探針比繡花針還要細。通過顯微鏡可以看到，測試探針在芯片間高速移動。每一片晶圓上都分布著2000多個芯片，探針會對芯片性能進行全面評估，每一個芯片的性能數(shù)據(jù)迅速同步到數(shù)據(jù)中心以便技術(shù)人員隨時掌握產(chǎn)線生產(chǎn)狀態(tài)。一旁的顯示屏上同步顯示著檢測結(jié)果。“綠色代表合格，紅色則相反。”中心主任陳辰說，只見屏幕上幾乎都是綠色。

別小看這些長寬僅有2毫米左右的芯片，它可是新能源車車載充電機的“心臟”，有了它，新能源車充電效率大大提高，而且能節(jié)省電力，實現(xiàn)減碳降耗。就是這小小的芯片，穩(wěn)定了國內(nèi)車企的供貨渠道，實現(xiàn)了自主研發(fā)自主生產(chǎn)。

陳辰介紹，南京平臺主要圍繞SiC器件技術(shù)開展研究工作，在關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域取得技術(shù)突破，建立了成熟的SiC肖特基二極管和MOSFET（金屬—氧化物—半導體場效應管）產(chǎn)品技術(shù)并成功完成成果轉(zhuǎn)化。“經(jīng)過科研團隊的不斷努力，我們中低壓系列產(chǎn)品形成基本達到國外量產(chǎn)化技術(shù)水平，高壓產(chǎn)品的核心指標達到國際先進水平。”他說，SiC肖特基二極管已累計銷售2000余萬只，在各類電源應用領(lǐng)域取得了較好的市場反響；SiC MOSFET產(chǎn)品累計銷售1000余萬只，在電動汽車領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)銷售500余萬只，累計裝車100余萬輛。

目前，南京平臺擁有一支高水平三代半導體技術(shù)團隊，人員覆蓋芯片設(shè)計、單項工藝、工藝整合、可靠性保障、應用支撐等方面。團隊內(nèi)部從機理研究到工程化產(chǎn)品技術(shù)，從單項關(guān)鍵工藝到生產(chǎn)技術(shù)整合組織技術(shù)人員開展分工研究。針對器件批產(chǎn)一致性提高開展制造工藝全流程的優(yōu)化，打通全部生產(chǎn)環(huán)節(jié)，晶圓成品率達到國際先進水平。

據(jù)悉，南京平臺利用五十五所現(xiàn)有SiC電力電子器件研發(fā)平臺，通過南京市、江寧開發(fā)區(qū)投入帶動，打造功能更先進的6英寸SiC電力電子器件研發(fā)和中試平臺，以存量帶動增量，既節(jié)約成本又實現(xiàn)建設(shè)周期縮短。

“南京平臺將以第三代半導體關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)為核心使命，產(chǎn)學研協(xié)同推動科技成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化與產(chǎn)業(yè)化，為區(qū)域和產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供源頭技術(shù)供給，為科技型中小企業(yè)孵化、培育和發(fā)展提供創(chuàng)新服務，為支撐產(chǎn)業(yè)向中高端邁進、實現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展發(fā)揮戰(zhàn)略引領(lǐng)作用，面向未來半導體領(lǐng)域高水平科技自立自強，承擔更多更重要的角色，發(fā)揮好‘出題人’‘答卷人’‘閱卷人’作用。”陳辰說。

【記者手記】

實地探訪國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心（南京）平臺，對南京奮力實現(xiàn)高水平科技自立自強的拼勁有了更直觀的感受。

南京是全國科教資源最集中的城市之一，連續(xù)多年出臺政策支持創(chuàng)新發(fā)展，覆蓋經(jīng)營主體培育、重大創(chuàng)新平臺中心建設(shè)、科技成果轉(zhuǎn)化、產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力提升、重大項目攻關(guān)、人才引進和國際合作等方面，形成了良好的創(chuàng)新氛圍。南京位列全國先進制造業(yè)百強市第四位，已成為我國集成電路產(chǎn)業(yè)強市。

國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心（南京）平臺取得的成就是南京科技自立自強之路的一個縮影。在這座城市，以創(chuàng)新型領(lǐng)軍企業(yè)為龍頭、高新技術(shù)企業(yè)為骨干、科技型中小企業(yè)為基礎(chǔ)的創(chuàng)新型企業(yè)集群正在形成。

審核編輯 ：李倩