①減反射膜：例如，照相機、幻燈機、投影儀、電影放映機、望遠鏡、瞄準鏡以及各種光學儀器透鏡和棱鏡上所鍍的單層 MgF薄膜，雙層或多層的由 SiOFrO2、AlO、 TiO?等薄膜組成的寬帶減反射膜。

② 反射膜：例如，大型天文望遠鏡的鋁膜，光學儀器中的反射膜，各類激光器中的高反射膜等。

③分光鏡和濾光片：例如，彩色擴印與放大設備中所用的紅、綠、藍三種原色濾光片上鍍的多層膜。

④照明光源中所用的反熱鏡與冷光膜。

⑤建筑物、汽車、飛機上用的光控制膜、低反射膜。例如，Cr、Ti、不銹鋼、Ag、TiO2、Ag-TiO?，以及ITO 膜等。

⑥ 激光唱片與光盤中的光存儲薄膜。例如，Fes1GesSOz磁系半導體化合物膜，TeFe Co 非晶膜。

⑦集成光學元件與光波導中所用的介質膜、半導體膜。

振華自動化磁控濺射鍍光學膜設備介紹：

我司成功研發出SOM系列設備，是一款全自動化的磁控濺射鍍光學膜設備。設備具有自動化程度高、載量大、產能大、穩定性高等優點。設備鍍制膜層性能優越，可鍍制多種/多重精密光學膜。

·設備介紹

1.自動化程度更高

自帶回傳閉環生產功能，配備可分隔的進出料腔，進料與出料同時自動進行；外設配備機械手上下載片。自動化程度高，生產效率快，大幅度減少人工成本。

2.載量、產能更大，能耗降低

默認配套24塊載片，有效鍍膜面積高達8平方米。與常規電子束蒸發光學機對比，其產能增加約50%，能耗降低約20%。

3、鍍制膜層優勢多，膜層性能優越

●可鍍多種/多重精密光學膜：如AR膜、AS/AF膜、高反膜等高精度多層光學薄膜；

●鍍膜品質好：配備獨立鍍膜腔，始終保持鍍膜室的真空狀態，有利于保證鍍膜品質；

●膜層致密：采用磁控濺射鍍膜技術，離子源能量高，膜層更致密，結合力更優；

●鍍制膜層穩定性更高：設備配備了良好的抽氣系統、穩定的電源輸出、高穩定性的陰極系統、高速的工件旋轉系統、精密的全自動程序控制系統，使得鍍制膜層時具備極為穩定的沉積速率，保證膜層厚度精準，應力小，重復性好；

●硬度高：配備高能離子源，膜層反應程度高，可得到高純化合物膜層，膜層硬度大幅提升：對比藍寶石鍍膜機，沉積膜層 SixNx純度更高，硬度可達9H；

●膜系搭配靈活：可在線變更膜系工藝，滿足不同工藝要求，節省工藝研發成本。

·行業應用：

SOM設備可沉積TiO2、SiO2、Nb2O5、NB、CR、Ni、 In、Ag、AF等材料，可實現各類光學彩膜、AR膜等膜系。

設備可廣泛應用于手機蓋板、車載玻璃顯示屏、攝像頭等玻璃類產品，電子煙霧化芯產品、樹脂片等。

審核編輯：劉清