熱式技術是一項測量氣體和液體流量的成熟技術。技術進步和設備微型化使得該技術能大批量應用于對成本敏感的領域，如天然氣計量。一些研究也證實了熱式技術在惡劣環境中的長期可靠性。另，2021年歐洲最新發布了專用標準（EN 17526），由此可看出熱式技術是一項經濟、成熟、可靠的燃氣計量解決方案，全球已有六百萬燃氣表受益于該技術。此外，該技術還具有強大的自診斷，自適應和泄漏檢測功能，可廣泛用于天然氣，氫氣混合氣體（23%）和純氫氣的檢測。

近年來電子技術（如CMOSense?和MEMS）隨著微機電系統（MEMS）技術的進步，熱式流量測量原理已在單個硅芯片上得以實現。芯片的高度集成CMOS工藝模組微型化和大批量生產成為可能。及燃氣自適應技術進步使得熱式燃氣計量技術成本大幅降低，可靠性不斷提高，成為燃氣計量應用的理想解決方案。長期實地可靠性研究表明，熱式燃氣表的使用壽命明顯長于一般燃氣表的設計使用年限。2021年發布的熱式燃氣計量專用標準對該技術的成熟度進行了認證，并為這項久經驗證的流量測量方法在燃氣計量行業的廣泛應用鋪平道路。除了成本低、可靠度高、結構緊湊外，熱式測量技術還具有強大的自診斷，自適應和安全性。另外，該技術還能隨時用于測量組成成分復雜的天然氣、不同濃度的天然氣-氫氣混合氣體2以及純氫氣。

在未來技術前沿——直接能量計量領域，熱式技術與現有解決方案相比優勢顯著。MEMS熱式質量燃氣表（如上圖）是基于微機電系統技術制造，采用具有熱式質量流量原理的流量傳感器芯片，研制出的新一代全電子智能式燃氣表，無需溫度、壓力補償即可實現燃氣流量的質量計量。 MEMS熱式質量燃氣表無可動部件、響應快、超寬量程、低壓損，易維護并具有IC卡預付費和物聯網遠程抄表功能。隨著天然氣的需求增加每家每戶已經慢慢的使用上了天然氣，使用天然氣需求燃氣表去計量，MEMS熱式質量燃氣表是目前最好的燃氣計量表。

MEMS熱式質量燃氣表是需要熱式質量的流量芯片去設計的，必不可少的。推薦可以采用ISWEEK公司的氣體流量傳感器AFE-01。AFE-01的流量芯片，是歐洲原始生產廠家代工的公司。開發了裝配有流速檢測元件的MEMS流量傳感器。擁有引以為傲的高級別靈敏度，可以精確檢測達到0.001m/s的氣體流速變化。生產出體積只有5 mm x 3.5 mm x 0.2 mm的芯片。

其測試原理：AFE-01流量傳感器由四個鉑薄膜電阻組成，基于流速的函數，利用傳熱原理來確定流速。在無流動的情況下，兩個電阻被同等加熱。如果出現流動，熱量從傳感器傳遞到介質，其中一個比另一個更冷，這取決于流動的方向。如果流量增加，傳遞的熱量也會增加。通過了解熱傳遞，可以從維持恒定溫度所需的電壓補償量來確定流速。同時AFE-01流量芯片因為體積小且耐高溫（-20°C~150°C的工作環境），很好的溫度補償電路，非常適合測試燃氣中的各種氣體。

AFE-01具有以下特點:

體積非常小，雙流向檢測、檢測小質量物體的流動、簡單的信號處理電路和標定、完全固定的機械元件、優異的重復性、優異的長期穩定性、適用于多種行業或安裝到不同外殼、最優的性價比。特性：測量原理：熱量原理

檢測量程：0 ... 50 m/s （以CTA模式的電路為例）
靈敏度：0.001 m/s
精 度：< 2%測量值（取決于電路和標定）?
響應時間：T63% < 0.5 S?
溫度范圍：-20…… +150 °C
電氣連接：絕緣漆包銅線 (一般長度25 mm)
加熱元件：RH (25°C) = 34Ω± 10%
檢測元件：Rs_i (25°C) = 425Ω±10%
參考元件：RR (25°C) = 710Ω± 10%
供電電壓：一般為 2~5 V（取決于氣體流速）

審核編輯黃宇