什么是超精密運動控制技術？

超精密運動控制技術是一門集精密機械、精密控制、精密驅動、精密傳感、精密測量、精密集成技術于一體，實現在納米精度范圍內的運動控制的綜合技術，也是三英精控最主要的核心技術。

該技術有什么創新點？能為客戶創造什么價值？

公司技術創新點體現在四個方面：一是超精密運動控制平臺機構設計方法；二是超精密伺服先進控制算法；三是核心部件的研發；四是系統標定與誤差補償技術。

在技術成熟性論證方面：針對納米材料、半導體產業、生命科學、精密制造、計量測試技術等領域的需求，攻克了設計與制造、組裝與校準等難點問題，突破了納米位移臺有限元優化設計、高精度位移傳感器、制造組裝工藝、高級控制算法、搭建測試校準平臺等關鍵技術，整體技術指標達到國際先進水平，個別技術指標達到國際領先水平。該技術成果已通過了中國計量科學研究院的驗證；公司牽頭承擔了兩項國家科技部項目，其中一項已圓滿完成，得到科技部的認可和高度評價。

在應用方面：半導體全產業鏈的加工、檢測設備；LCD/LED及其它顯示器制造設備；激光加工設備；生物醫學顯微鏡和操作儀器；衛星激光通訊核心器件；廣泛應用于各類精密機床、航空航天以及國防軍工業等。

在競爭力方面：公司的核心技術路線符合“中國制造2025”規劃的發展方向，是國產替代的關鍵點之一。并且公司參與制定了兩個國家標準：GB/T 38616-2020《納米定位與掃描平臺術語》和GB/T38614-2020《基于柔性鉸鏈機構和壓電陶瓷驅動器的納米定位與掃描平臺測量方法》。均已于2020年11月實施。

三英精控相關產品

公司基于超精密運動控制技術開發的產品有：納米位移定位平臺系列產品、納米位移電容傳感器系列產品、納米擺角臺系列等。

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