X射線分析

有幾種類型的分析 X 射線系統，例如 X 射線熒光 (XRF)、X 射線衍射 (XRD)、XAFS、XPS (ESCA)、SAXS 和 EPMA。X 射線熒光光譜儀 (XRF) 包括能量色散 X 射線分析 (EDX) 和波長色散 X 射線分析 (WDX)，用于將 X 射線照射在樣品上以確定構成樣品的元素和他們的內容。不同的元素具有不同波長的X射線，因此當用X射線照射樣品時，返回具有不同波長（能量）的X射線。

在波長色散 X 射線分析中，不同波長的 X 射線會改變衍射角，因此當 X 射線照射到光譜晶體上時，它們會被波長解析。將樣品反射回來的熒光X射線注入單色器晶體進行光譜分析，就像可見光被棱鏡分光一樣，每個波長的X射線強度由檢測器測量。在能量色散 X 射線分析中，半導體檢測器接收熒光 X 射線，并對信號進行處理以測量每個波長的 X 射線強度。這兩種方法都使用X射線管，需要燈絲電源產生熱電子和X射線加速電壓電源。

產生X射線的方法有很多種，包括陽極接地和陰極接地兩種；陰極接地的 X 射線通常用于 XRF，陽極接地的 X 射線用于 XRD。與無損檢測 X 射線不同，分析型 X 射線不需要太多加速電壓。因此，電壓可以達到 60 kV，但可能需要光強度（亮度）。在這種情況下，使用了幾千瓦的 X 射線管，并通過水冷來防止管子過熱。內置于設備中的檢測器可能還需要幾百伏到幾千伏的電源系統。

主要應用：

X 射線熒光光譜儀 (XRF) ，X射線衍射儀（XRD） ，能量色散 X 射線分析 (EDX) ，波長色散 X 射線分析 (WDX) ，燈絲電源 ，加速電壓

審核編輯 黃昊宇