芯片有著很強動力和潛力，隨著國內的半導體產業的發展，對芯片需求不斷增多，LED/半導體/線路板芯片制備到器件封裝，對生產環境空氣品質都有較高的要求，空氣品質關系著成品率和產品品質。很多「半導體工業」以及「生技產業」都需要用到無潔凈室。今天 【科準測控】 小編就來詳細介紹一下半導體集成電路潔凈室/無塵室的原理還有標準是什么？以及日常維護事項，一起往下看吧！

半導體潔凈室原理：

『潔凈室』又稱為「無塵室」，是將一定空間范圍內之空氣的微塵粒子、有害氣體、細菌等污染物排除于外，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在一定需求范圍內，而給予特別設計之房間。也就是說這個受控的房間內之微塵粒子相當稀少。

半導體潔凈室的應用：

潔凈室在現代工業中早已被廣泛應用于半導體生產、液晶螢幕生產、生化技術、生物技術、精密器械、制藥、醫院等行業之中，尤其以半導體晶圓制程對無塵等級的要求最高，因為現今的晶圓已經都發展到奈米級的水準，隨便一粒灰塵掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損，甚至導致這個晶圓必須報廢。

無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無塵室與負壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見，就是讓室內的空氣壓力大于室外的壓力，這樣才可以控制室內空氣往外吹以杜絕外部的污染源。

而負壓無塵室一般應用在有毒實驗室、病理實驗室或傳染病病房，目的是為了避免實驗室或病房中有任何有毒氣體或傳染病菌不小心傳播到大氣環境中，所以負壓就是為了讓室外的空氣會往室內吹，然后藉由過濾網將可能受污染的空氣過濾，以免讓不相干的大眾受到感染。

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空氣潔凈度參考：

根據國標GB50073—2013，潔凈室的空氣潔凈度等級為1~9級。在具體實踐中，常參考美國標準FS 209E，其中的空氣潔凈度等級有1級、10級、100級、1000級、10000級、10000級等，如表1-1所示。

潔凈****室應該具備哪些要素？

基本上「無塵室」應該要具備以下的功能：

1、能去除空氣中漂浮之微塵粒子。

2、能防止微塵粒子之產生。

3、能控制溫度及濕度。這是因為密閉的環境需要溫度及濕度控制以符合人體舒適度，另一方面溫度及濕度也可以控制微生物的生長。其次，濕度過大也會影響到電子產品的品質。

4、能調節壓力。這是為了要控制無塵室內為正壓或負壓。

5、能調節溫度。

6、能防止靜電。這是一定要的，電子產品怕靜電了，尤其是還未封裝的晶圓。

注：另外還必須考慮到安全因素（包含火災滅火與緊急狀況逃生）

濕度可能使潔凈室總體表現下降的 原因有 ：

1.細菌生長；

2.工作人員感到室溫舒適的范圍；

3.出現靜電荷；

4.金屬腐蝕；

5.水汽冷凝；

6.光刻的退化；

7.吸水性。

細菌和其他生物污染（霉菌，病毒，真菌，螨蟲）在相對濕度超過60%的環境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。合景凈化工程公司認為，應將濕度控制在處于40%至60%的范圍之間時，可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至最低。

相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及情感上的不快。

高濕度實際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當相對濕度小于30%時，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續存在很長一段時間。

相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，半導體潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。

以上就是 【科準測控】 技術團隊為大家整理的關于半導體集成電路潔凈室的原理、空氣潔凈度等級還有潔凈室的維護了，希望對大家能有所幫助。如果您也有遇到半導體集成電路不明白的問題，歡迎給我們私信或留言，科準測控也會為您解答疑問！

審核編輯 黃昊宇