MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)的不斷發(fā)展，目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用在生物、航空、醫(yī)學(xué)、航天等多領(lǐng)域。MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-electro Mechanical Systems），是指精密機(jī)械系統(tǒng)和微電子電路技術(shù)結(jié)合發(fā)展出來的一項工程技術(shù)，它的尺寸一般在微米量級。

圖：MEMS微機(jī)電系統(tǒng)示意圖

MEMS傳感器想要成功主要看封裝技術(shù)，包括SIP（系統(tǒng)級封裝）、WLP（晶圓級封裝）、三維硅穿孔（TSV）等技術(shù)，采用三維堆疊技術(shù)，能夠把微型化后的傳感器機(jī)械部件和其他微電子組件集成，依據(jù)不同的應(yīng)用來選擇不同的封裝形式。

對于大部分的MEMS傳感器來說，想讓它正常使用和發(fā)揮功效，就要通過內(nèi)部可動微結(jié)構(gòu)在適當(dāng)范圍內(nèi)進(jìn)行變形和位移來實現(xiàn)，所以對MEMS進(jìn)行模態(tài)測試就要讓其振動，也就是需要進(jìn)行激勵。

對于MESM模態(tài)測試的激勵方法包括磁激勵、熱激勵、靜電激勵、壓電激勵、聲激勵以及基于壓電陶瓷的底座激勵。

對于MEMS的多種激勵方法，選擇合適的激勵裝置是非常重要的。安泰超聲功率放大器最大輸出電壓10kV，最大輸出電流64Ap，最大輸出功率10kW，電壓增益數(shù)控可調(diào)，能夠滿足不同的激勵指標(biāo)需求。

超聲功率放大器在MEMS超聲測試的工作原理：

高頻MEMS核心器件主要是壓電控制器件，利用其壓電效應(yīng)和逆壓電效應(yīng)來實現(xiàn)機(jī)械能和電能的轉(zhuǎn)換，通過壓電控制器件在高頻電信號激勵下產(chǎn)生高頻振動，從而激發(fā)出超聲波，使用壓電控制器件接收超聲波轉(zhuǎn)化成電信號，實現(xiàn)超聲信號的轉(zhuǎn)化。

高頻MEMS一般是激振蕩式驅(qū)動，通過方波或者脈沖振動器激勵，由于高頻MEMS需要1MHz以上的電流以及30Vp-p的電壓，而信號發(fā)生器的輸出電壓較低，帶負(fù)載能力較弱，所以需要搭配超聲功率放大器來進(jìn)行實驗測試。

安泰推薦：ATA-2041高壓放大器

圖：ATA-2041高壓放大器指標(biāo)參數(shù)

安泰超聲功率放大器還可以利用高電壓、高帶寬等指標(biāo)來驅(qū)動各種高頻MEMS器件，多種功率和激勵波形都可以根據(jù)應(yīng)用需要來進(jìn)行針對性的定制。此外，超聲功率放大器廣泛應(yīng)用在細(xì)胞微粒分選，電場粒子偏轉(zhuǎn)，無線電能傳輸?shù)妊芯款I(lǐng)域，滿足更多更復(fù)雜的測試需求。

以上就是安泰電子帶來的超聲功率放大器在MEMS超聲測試中的應(yīng)用內(nèi)容，相信大家對于功率放大器有了一定認(rèn)識和了解。如果對于功率放大器還有什么不清楚的，歡迎咨詢安泰電子。

文章來源：西安安泰電子科技有限公司

審核編輯黃昊宇