來源：《半導體芯科技》雜志10/11期

在2022年硅量子電子研討會上，英特爾實驗室宣布以現(xiàn)有硅基半導體技術成功生產(chǎn)自旋量子計算芯片，這為未來量產(chǎn)量子計算機打下基礎。英特爾表示，最新研究結果是目前業(yè)界最大的硅基自旋量子運算芯片，量產(chǎn)芯片切出裸晶表現(xiàn)高度均勻性，芯片良率超過95%。這一成就代表了英特爾在晶體管制造工藝上擴大規(guī)模和努力制造量子芯片的一個重要里程碑。

英特爾的研究使用極紫外（EUV）光刻技術制造，并使用專門設計的量子低溫探測器Cryoprober對最新硅自旋量子運算芯片進行了測試，該設備在極低的溫度（1.7開爾文或-271.45攝氏度）下運行，以保持量子比特的穩(wěn)定性，從而使其可用于計算目的。測試確認自旋量子運算芯片運行穩(wěn)定性。Cryoprober也證實300毫米晶圓上95%的量子位封裝芯片按預期工作。這對英特爾來說尤其是好消息，因為到目前為止，大多數(shù)量子芯片生產(chǎn)努力一次只能制造一個。英特爾的EUV工藝現(xiàn)在似乎能夠在晶圓上制造多個量子芯片，且具有出色的均勻性和良率。

英特爾的量子計算芯片制造技術，是允許單電子狀態(tài)跨芯片自動收集數(shù)據(jù)，以完成迄今最大單量子點和雙量子點，也就是超過900個單量子點和超過400個雙量子點。

英特爾量子硬件總監(jiān)James Clarke表示，這代表未來能朝商業(yè)量子計算機數(shù)千或數(shù)百萬個量子比特方向邁出重要一步。完成高產(chǎn)量和均勻統(tǒng)一性，也代表英特爾晶體管制程制造量子芯片可行，且隨著技術成熟將實現(xiàn)商品化，幫助量子運算發(fā)展。

審核編輯黃昊宇