為什么要做這個測試？Why do this test?

量熱式流量傳感器通常根據特定介質進行調整，因為測量值受氣體的熱導率和容量的影響。因此，每種氣體都需要一個專門校準的傳感器。結合用于清潔氣體檢測或二元氣體混合物濃度測定的密度測量，可以在過程運行時靈活分配校準數據和校正因子。這意味著，無論清潔氣體或混合物的混合比如何，始終計算正確的流量值，并且該測量點只需要一種傳感器。

什么是眨眼之見？ What is a wink of Knowledge?

你需要快速測量、繪制或做某事嗎？取得結果的速度比完美的（科學的）方法更重要。為此，我們介紹了眨眼之見。也就是說，驗證科學就在眨眼之間。我們不想以科學的方式證明任何事情，而是迅速地以務實的方式證明一些事情。如果您感興趣，我們很樂意與您進行更詳細的探討。

結果 Result

在圖 1 中，原始流量值以藍色繪制在右側軸上，校正后的體積流量以橙色繪制在左側軸上。藍色線性擬合清楚地顯示了 CO2 和 N2 的不同熱參數如何在沒有密度或濃度校正的情況下偽造確定的測量值。然而，通過添加在線密度測量，流量可以被校正到設定的100 sccm的大約2%以內，如橙色的線性擬合所示。結果表明：虹科氣體密度傳感器DGF-I1和IST流量傳感器SFS01的組合，可以準確地測定混合氣體的流速，而與混合氣體的濃度比無關。（詳情可以聯系：https://t.dustess.com/SpBl5MA7）

除了已知氣體成分的二元氣體混合物外，該原理還可以擴展到在不同密度的氣體之間切換。使用清潔氣體檢測系統，可以選擇適當的校準數據或校正因子，并實時校正測量值。這樣就有可能實現靈活的、性價比更高的流量測量，并具有熱測量原理的所有優點：

長期穩定抗振測量

緊湊設計

響應時間特別快（<10 毫秒），適用于過程控制

包括方向檢測在內的最低流速的高靈敏度

潔凈氣體檢測

多參數測量系統（流量、密度、壓力、溫度）

微泄漏監測

圖1：校正流量與原始流量的比較

實驗裝置 Experimental device

圖2為實驗站的設置。使用并聯的熱質量流量控制器 (MFC 1-5) 設置各種純氣體和氣體混合物的所需流速值。每個質量流量控制器都校準到相應的清潔氣體，這意味著可以精確控制混合比。然后氣體混合物流過兩個串聯的密度和流量傳感器。（詳情可以聯系：https://t.dustess.com/SpBl5MA7）

流量傳感器的 I2C 測量信號直接傳輸到氣體密度傳感器，通過測得的密度和濃度來計算原始值和校正因子。將得到的流量測量值與氣體混合器的設定目標值進行比較，以驗證原型的功能。

圖2：實驗裝置

使用了哪些傳感器？Which sensors are used?

氣體密度傳感器HK-DGF-i1

流量傳感器SFS01

審核編輯 黃昊宇