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芯片制程技術從3nm走向了2nm

獨愛72H ? 來源:Ai芯天下、OFweek ? 作者:Ai芯天下、OFweek ? 2022-06-27 10:04 ? 次閱讀
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IBM于紐約時間5月6日在其官網宣布制造出世界上第一顆2nm芯片,揭開了半導體設計和工藝方面的突破。

IBM預計與當今最新一代的AMD最新一代CPUGPU所采用的最先進的7nm芯片相比,2nm芯片將實現提高45%的性能或降低75%的功耗。該芯片的制造者為IBM奧爾巴尼研究室(IBM Research Albany),該實驗室與三星英特爾簽署了聯合技術開發協議,商定合作使用IBM的芯片制造技術。目前擔任IBM混合云研究副總裁的MukeshKhare帶領其完成了2納米技術的突破。

在這個芯片上,IBM用上了一個被稱為納米片堆疊的晶體管,它將NMOS晶體管堆疊在PMOS晶體管的頂部,而不是讓它們并排放置以獲取電壓信號并將位從1翻轉為零或從0翻轉為1。這些晶體管有時也稱為gateallaround或GAA晶體管,這是當前在各大晶圓廠被廣泛采用的3D晶體管技術FinFET的接班人。

FinFET晶體管將晶體管的源極和漏極通道拉入柵極,而納米片將多個源極和漏極通道嵌入單個柵極以提高密度。

IBM采用2納米工藝制造的測試芯片,每平方毫米面積上的晶體管數量平均下來是3.3億個,在指甲大小的芯片中,一共容納了500億個晶體管。在IBM的這個實現方案下,納米片有三層,每片的寬度為40納米,高度為5納米。(注意,這里沒有測量的特征實際上是在2納米處。

2納米芯片的制造還包括首次使用所謂的底部電介質隔離,它可以減少電流泄漏,因此有助于減少芯片上的功耗。重要的是,IBM這個芯片上的所有關鍵功能都將使用EUV光刻技術進行蝕刻,IBM也已經弄清楚了如何使用單次曝光EUV來減少用于蝕刻芯片的光學掩模的數量。

這樣的改善帶來的最終結果是,制造2納米芯片所需的步驟要比7納米芯片少得多,這將促進整個晶圓廠的發展,并可能也降低某些成品晶圓的成本。與當前將使用在Power10芯片的7納米制程相比,這種2納米制程有望將速度提高45%或以相同速度運行,將功耗降低75%。

本文整合自:Ai芯天下、OFweek

責任編輯:符乾江

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