新的PureLine 3技術可消除97%的環境噪聲，使頻譜噪聲性能提高32倍。利用該技術，可在片測量高精度的器件性能，并為IC設計者生成器件模型。

早些時候，我們發布了一篇博客，宣布推出CM300xi-ULN探針臺。這一新的在片噪聲測試金標準具有許多新特點，但最重要的特點是PureLine?第三代技術。

該技術包含我們的大量專利、電氣設計知識和測量系統IP，共同為被測器件（DUT）提供有效的無噪聲環境。

與Elite300和CM300探針臺以前的PureLine版本相比，新的PureLine 3可消除97%的環境噪聲，使頻譜噪聲性能提高32倍。利用該技術，可在片測量高精度的器件性能，并為IC設計者生成更有價值的器件模型。

使用具有PureLine 3技術的新型CM300xi-ULN探針臺，設備測試工程師、可靠性工程師和IC設計工程師均可從這一最新技術中受益。現在可簡單自動地對先進材料、封裝互連、晶體管和IC進行精確的閃爍、RTN和相位噪聲測量，更快地獲取數據。

PureLine 3技術集成到CM300xi-ULN探針臺的許多組件中，包括：

• ULN微室?:這為探針臺、DUT和晶圓卡盤區域周圍提供了關鍵測量環境，以進行低噪聲測試。新增強的ULN微室確保了完整的EMI/RFI屏蔽區域，就像一個小型的、本地化的大型實驗室法拉第籠。此外，ULN微室提供了所需的黑暗和干燥環境，這對于測量光敏晶體管和在負溫度（< =-60℃）下無霜運行的器件至關重要。
• ULN電力調節裝置(PCU)：該集成的ULN系統組件可為整個系統-探針臺和儀器提供全面管理和過濾的交流電源。機架安裝ULN電源調節裝置（PCU）的專利PureLine 3技術使設備占地面積小、場發射率低，并為消除探針臺和儀器之間產生明顯低頻噪聲的接地回路的測試單元電源管理（TCPM）奠定了基礎。ULN PCU為探針臺、熱冷卻器和控制器、晶圓裝載器、動力配件和所有測試儀器提供清潔、過濾的交流電源。此外，PCU為整個系統和所有儀器的安全運行提供統一的緊急斷電/緊急電源控制系統。
• ULN熱過濾模塊：ULN熱過濾模塊包含在所有帶有熱控制晶圓卡盤的ULN系統中。這對于在溫度下實現超低噪聲測量至關重要外部熱控系統產生的有害噪聲被過濾，防止進入關鍵的低噪聲測量環境中。有源模塊顯著降低高頻噪聲，1Mhz以上可降低30dB。
• ULN單點接地和布線系統：每個ULN系統還包括用于所有探針臺配件的單點接地系統，具有低電阻接地連接。PureLine 3的設計實踐為機械組件提供了低電阻材料和硬連接方案-降低了將不必要的射頻噪聲輸入測量路徑的天線效應。
• 精確測量PLL相位噪聲的ULN SMU過濾模塊：對于鎖相環電路（PLL）和壓控振蕩器（VCO）等設備的高精度相位噪聲測量，新開發的源測量單元（SMU）DC過濾模塊可與CM300xi-ULN探針臺一起使用，以提供超靜音/清潔的DC電源電壓。高性能DC SMU過濾模塊可提供高達100dB的衰減（50Hz至80Mhz），可處理最大100mA DC電流。每個SMU過濾模塊支持一個通道，多個模塊可配置在一起，以提供多通道清潔電源。
• ULN智能接觸技術模塊：新的ULN智能接觸技術?模塊（1、2和4探針座系統）具有PureLine 3降噪功能，使CM300xi-ULN成為世界上第一個在30μm焊盤上實現自主閃爍噪聲熱測試的探針臺。利用自動化DC測量助手，CM300xi-ULN可配置為使用帶電動探頭定位器的ULN優化的
• Contact Intelligence技術，進行完全自主的DC和閃爍噪聲測量，在不同溫度下實現全天候自動運行。

審核編輯：符乾江