我們最近為CM300xi探針臺推出了一些革命性的新型硅光子（SiPh）探針解決方案。這些新功能之一是專有的OptoVue Pro?，可在不移除當前被測試晶圓的情況下就地進行光學定位器校準。

OptoVue Pro位于CM300xi的輔助卡盤位置，包括功能豐富的工具集，可提供更快的時間來獲得更準確的測量結果。它提供了先進的技術，可在不移除當前被測試晶圓的情況下就地進行光學定位器校準。這些無縫的自動校準可以在無需操作員干預的情況下執行，從而縮短了測量時間并降低了測試成本。此外，開創性的新設計提供了更多的光纖/陣列觀察方向，從而帶來了更精確的校準結果。

OptoVue Pro的其他獨有功能是真正的水平邊緣耦合和單個光子設備的探測，光纖和光纖陣列的檢查和測量以及探頭尖端的原位功率測量。

將這些功能進一步細分…

CalVue– CalVue支持Z位移和光學定位的原位校準。利用獨特設計的后視鏡技術，eVue的物鏡照明可用于查看光纖/陣列的所有方面，而無需外部光。這消除了對傾斜照明的需求，并實現了實時的實時自動機器視覺校準。

PowerVue

使用高靈敏度光電二極管，PowerVue能夠在光纖/陣列尖端進行原位功率測量，以了解進入設備的實際功率。它還可以用于測量和去除激光到光纖的路徑損耗。

ProbeVue

使用一種新穎的設計技術，ProbeVue允許對單根光纖和光纖陣列以及DC和RF探頭進行向上檢查的探頭檢查功能。如果測量性能下降，則可以在原位查找探頭的磨損或損壞。對于光纖陣列探測，通過能夠找到從陣列角到V形槽中第一根光纖的初始陣列耦合偏移位置的功能，這非常有價值。

迪威

測試單個芯片并將測試轉移到晶圓級的能力最終改變了新項目的批量生產時間。 DieVue是一個單獨的裸片固定位置，可使用標準套件或定制裸片固定器將多達25x25mm的裸片真空固定，以用于表面和邊緣耦合應用。 DieVue是業內唯一能夠實現真正的芯片級水平邊緣耦合探測和優化的解決方案。

審核編輯：湯梓紅