近日，濱松光電開(kāi)發(fā)了新型半導(dǎo)體故障分析系統(tǒng)：PHEMOS-X C15765-01，該系統(tǒng)利用可見(jiàn)光到近紅外光來(lái)分析缺陷。之所以能在單體設(shè)計(jì)中實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)，是因?yàn)椴捎昧诵滦投嗖ㄩL(zhǎng)激光掃描儀，并結(jié)合了該公司“獨(dú)特的內(nèi)部光學(xué)設(shè)計(jì)技術(shù)”。

濱松方面稱：“通過(guò)應(yīng)用本公司內(nèi)部的光學(xué)設(shè)計(jì)技術(shù)，我們從頭開(kāi)始重新設(shè)計(jì)了分析系統(tǒng)的部件，如用激光束掃描半導(dǎo)體器件的激光掃描儀、定位半導(dǎo)體器件的光學(xué)臺(tái)、寬視場(chǎng)觀察的微距鏡頭等。這樣一來(lái)，靈敏度、分辨率、準(zhǔn)確度和易用性都更高了，這些功能與我們目前的系統(tǒng)相比都有了很大的提高。”

濱松新型半導(dǎo)體測(cè)試儀

設(shè)計(jì)和操作

PHEMOS-X是一種半導(dǎo)體故障分析系統(tǒng)，可配備多達(dá)5個(gè)激光器，輸出波長(zhǎng)從可見(jiàn)光到近紅外光不等。PHEMOS-X僅用一臺(tái)設(shè)備就可以高靈敏度、高分辨率地定位故障。

當(dāng)對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備施加電壓時(shí)，半導(dǎo)體設(shè)備中的故障點(diǎn)會(huì)發(fā)出光和熱。在對(duì)半導(dǎo)體器件施加電壓時(shí)，用激光束掃描半導(dǎo)體器件，會(huì)使故障點(diǎn)的電流和工作狀態(tài)發(fā)生變化。

利用這些特性，通過(guò)檢測(cè)代表施加電壓引起的半導(dǎo)體器件變化的信號(hào)，進(jìn)行激光掃描，并將這些信號(hào)以圖像的形式可視化，就可以估算出故障位置。

光損耗抑制

該公司補(bǔ)充說(shuō)，傳統(tǒng)的激光掃描儀是專門為波長(zhǎng)為1300納米的近紅外光設(shè)計(jì)的。通過(guò)PHEMOS-X，我們重新設(shè)計(jì)了激光掃描儀的光學(xué)系統(tǒng)，它可以抑制五種激光器中的光學(xué)損耗。

“因此，只需一臺(tái)設(shè)備就可以進(jìn)行半導(dǎo)體故障分析，利用從532納米的可見(jiàn)光到1340納米的近紅外光的多波長(zhǎng)激光束。相比之前使用波長(zhǎng)較短的激光，可以更詳細(xì)地觀察半導(dǎo)體器件。它還能確保高靈敏度，以尋找和觀察功率半導(dǎo)體的故障點(diǎn)，這些故障點(diǎn)對(duì)可見(jiàn)光有反應(yīng)，而非普通半導(dǎo)體的紅外光。”

濱松在發(fā)布公告中表示，PHEMOS-X將于2021年4月1日面向日本本土和國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備制造商開(kāi)始銷售。

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