近年來，隨著電子工業的快速發展，電子氣體在半導體行業中的地位日益突出。半導體工業中使用的氣體統稱為電子氣體。在半導體生產過程中，從芯片生長到最終器件封裝，幾乎每一步每一個環節都離不開電子氣。電子氣的成本占ic材料總成本的5％～6％。電子氣的純度對芯片質量有很大影響。

電子氣體按種類可分為純氣體、高純氣體和半導體特種氣體。半導體專用氣體按純度等級和應用場合可分為電子級、LSI（大規模集成電路）級、VLSI（超大規模集成電路）級和ULSI（超大規模集成電路）級。

其中，高純氣體多用于超大規模集成電路和分離器件、光電子等高科技領域，包括氧、氮、氫、氦、氬等。特殊氣體主要用于外延、摻雜和刻蝕工藝。這種電子氣體主要分為氫化物、氟化物和氟碳化合物。

以氮氣為例，氮氣用于清洗手套箱或半導體室，以確保環境的純度。因為氮氣比空氣重，會把空氣推出環境，從而形成缺氧狀態。這有利于半導體制造，因為它可以確保環境無菌，防止一些材料與氧氣相互作用。但是，如果在供氮過程中發生泄漏，空氣中的氧氣會減少，這種情況下，工人會因缺氧而有窒息的危險。

而且大部分“保護氣體”無色無味，員工分不清是否有泄漏。因此，半導體生產車間必須安裝氧氣監測儀來檢測氧氣含量，當氮氣或任何其他氣體泄漏到工廠環境中時，氧氣監測儀可以及時發出警報，可以使用氧氣變送器或者微量氧分析儀來監測氧濃度。

美國Southland 氧氣變送器OMD－150，基于微處理的氧氣變送器，該氧氣變送器能夠根據具體的應用需求配置成微量氧或者常量氧檢測。另外還有微量氧分析儀OMD507，采用具有世界先進水平的燃料電池氧氣傳感器，電路設計上采用了智能微控制技術準確度高、穩定性好，使用壽命長，功耗低，體積小巧、結構簡單，使用和維護簡便。

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