針對被美方列入“實體清單”一事，中芯國際20日晚做出回應。

中芯國際表示，經公司初步評估，該事項對公司短期內運營及財務狀況無重大不利影響，對10納米及以下先進工藝的研發及產能建設有重大不利影響，公司將持續與美國政府相關部門進行溝通，并視情況采取一切可行措施，積極尋求解決方案，力爭將不利影響降到最低。

中芯國際指出，自9月5日從媒體獲悉可能被美國商務部列入貿易黑名單以來，公司一直努力與美國政府相關部門溝通，以期得到公平、公正的對待。但遺憾的是，公司仍然被列入了“實體清單”。對此，公司表示堅決反對，并再次重申，公司自成立以來一貫恪守合規運營的原則，嚴格遵守生產經營活動所涉及相關國家和地區的法律法規，從未有任何涉及軍事應用的經營行為。

商務部新聞發言人12月19日就美國商務部將59家中國實體列入出口管制“實體清單”答記者問時表示，美方泛化國家安全，不斷濫用出口管制等措施對他國企業、機構和個人持續進行打壓，對國際經貿秩序和自由貿易規則造成嚴重破壞，對全球產業鏈供應鏈安全造成嚴重威脅。這不利于中國，不利于美國，也不利于整個世界。

下一代先進工藝發展受阻

中芯國際被列入“實體清單”在市場預期之內。10月初，公司確認遭到美國出口管制。

中芯國際公告稱，被列入“實體清單”后，根據美國相關法律法規的規定，針對適用于美國《出口管制條例》的產品或技術，供應商須獲得美國商務部的出口許可才能向中芯國際供應；對用于10納米及以下技術節點（包括極紫外光技術）的產品或技術，美國商務部會采取“推定拒絕”的審批政策進行審核；同時中芯國際為部分特殊客戶提供代工服務也可能受到一定限制。

在邏輯電路領域，目前還遵循著“摩爾定律”，即每隔18-24個月，晶體管的數量增加一倍，性能也將提升一倍。因此，擁有更為領先的工藝技術意味著贏得更多的市場機會。5G手機、高性能計算、物聯網、自動駕駛等場景需要用到的芯片中，CPU、GPU、SOC等核心器件的技術節點已基本推進到7納米或者5納米，AI芯片亦是。

盡管中芯國際當前量產的最先進工藝只是14納米，但公司已經儲備了更加先進的工藝技術。如果美方上述政策不調整，公司已開發但未量產的先進技術或只能束之高閣。

相對而言，成熟工藝受到的影響長期可控。中金公司黃樂平團隊認為，對于10納米以上制程，中芯國際在生產中除了會使用美國設備以外，也會采購美國產半導體材料（如氣體等電子化學品）及EDA軟件。預計公司在向美國政府申請出口許可的同時，也會積極導入日本、歐洲及國產等新供應商，長期看影響有限，但短期是否會對供應鏈穩定造成影響有待觀察。

目前，中芯國際在上海、北京、天津、深圳四地共建有7座晶圓廠。從尺寸來看，4座為12英寸產線，3座為8英寸產線。從工藝節點來看，2座為先進工藝產線，5座為成熟工藝產線。其中先進工藝產線分別為中芯南方（14納米及以下）和中芯北方（28納米），這兩座晶圓廠生產的芯片尺寸都是12英寸。

中芯國際的產能利用率維持在高位，換句話說，如果擴產計劃和下一代先進工藝量產沒法落地，在不提價的情況下，公司需要采取更為嚴格的成本管控，才能有效緩解較高折舊對盈利的沖擊。折合8英寸晶圓計算，今年第三季度，公司月產能為51.02萬片，產能利用率為97.8%。而在第三季度的晶圓收入中，85%由成熟工藝貢獻。

增強自主可控

28納米產線可期

固然形勢嚴峻，但不是沒有機會，65納米及以上制程方面，國產材料與設備已經取得長足進步。多個消息稱，國內廠商正在合力打造一條去美化的28納米芯片制造產線。

據了解，國內廠商有望在明年開發出可用于生產28納米芯片的干式雙工件臺光刻機，并計劃2022年開發出可用于生產28納米芯片的浸沒式雙工件臺光刻機。

光源、光學系統和工件臺系光刻機的三大核心組件，而國產可用于生產28納米芯片的浸沒式光刻光源、浸沒式ArF曝光光學系統和浸沒式雙工件臺均有望在明年實現。

刻蝕機方面，在硅刻蝕領域，國產28納米刻蝕機已基本量產，14納米進入中芯國際產線，7納米正在研發；在金屬刻蝕領域，國產28納米刻蝕機已基本量產，14納米進入中芯國際產線。

薄膜沉積設備方面，國產28納米PVD設備和國產28納米CVD設備都已批量出貨，且14納米也都已部分驗證成功，同時正在研發7納米；國產28納米PECVD設備批量出貨，14納米已部分驗證成功。

離子注入機方面，在中速流和大速流領域，國產28納米的設備已基本量產，22納米進入中芯國際產線，14納米正在開發；高能離子注入方面，28納米進入中芯國際產線，22納米正在研發。

一位半導體產業基金合伙人表示：“受客觀規律制約，要在一些領域實現技術和產業的超越都需要長時間的積累。而一旦趕起來，有時候往往會意料之外的快。65納米及以上產線，如果全面用國產設備，然后利用國內龐大的市場需求，可以實現快速迭代。我覺得完全可以利用市場養分，支持國產材料與裝備企業的發展。”

一家半導體裝備材料投資機構的負責人認為，從經濟角度看，全球化下的專業分工是最好的，能大幅降低成本，但從國家安全角度講，有必要自主可控。
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