位于比利時的MEMS代工廠X-Fab開發了一種硅基微流控原型平臺，將于明年年初正式上市。

X-Fab已經開放了一系列功能，可以直接在CMOS裸片上構建微流控結構。這將允許開發新的設計和設備，用于芯片實驗室、DNA測序和合成、稀有細胞分選、醫療植入物、制藥研究、藥物管理、食品安全測試和許多其他應用。

“微流控代表了一個極具挑戰性的特定應用市場，需要完全優化的定制解決方案和大量投資，”X-Fab產品營銷經理Oliver Foellmer說。“從我們與該領域相關客戶的討論中可以清楚地看出，他們需要能夠從單一來源獲得全面的原型設計支持。得益于我們新的微流控原型平臺，我們正在幫助他們加快開發周期，降低財務門檻，從而使客戶能夠著手開展基于硅的創新微流控項目，并且不受其規模或能力的限制。”

設計人員將可以獲得開發基于芯片的微流控子系統所需的所有關鍵元素--使他們能夠更快地完成項目的原型設計階段，并達到可以開始考慮規模量產的程度。通過將眾多元素捆綁在一起，不再需要與許多不同的供應商合作，從而最大限度地減少復雜的多供應商項目通常會帶來的集成問題。

該服務基于X-Fab的XH035 350納米高壓模擬/混合信號CMOS工藝，該工藝針對需要高信噪比的應用進行了優化，適用于各種微流控后處理活動。這些工作可以在其位于德國的MEMS制造基地進行，并使用多級掩模（MLM）技術來降低整體原型設計成本。

X-Fab已經開發了一系列標準流程模塊，通過平面鈍化和鈍化孔，為微流控集成CMOS晶圓做初步準備。這些模塊還包括附加貴金屬電極（金或鉑金），作為流體樣品的接口，并添加干膜抗蝕劑頂層（微流體通道可在其中劃線），以及可選的玻璃帽晶圓。

X-Chain合作伙伴網絡中的設計、測試和交鑰匙系統的供應商也可以進入，以便在創建定制芯片方面專業知識有限的客戶可以獲取相關服務。

客戶可以直接獲得X-FAB新的硅基微流控原型平臺的使用權，首次原型運行計劃于2021年第一季度初進行。

原文標題：X-Fab開發出硅基微流控原型平臺

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責任編輯：haq