電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道（文/李彎彎）近些年，隨著集成電路行業(yè)的不斷發(fā)展，傳統(tǒng)集成電路無(wú)法持續(xù)滿(mǎn)足終端應(yīng)用日漸變化的需求，MEMS行業(yè)在這種背景下逐漸成長(zhǎng)起來(lái)。

MEMS，即Micro-Electro-Mechanical System，中文名微機(jī)電系統(tǒng)，是指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置，該類(lèi)產(chǎn)品是以集成電路工藝為基礎(chǔ)，結(jié)合微加工等技術(shù)打造的新型芯片。

隨著終端應(yīng)用市場(chǎng)的持續(xù)擴(kuò)張，MEMS的應(yīng)用也越來(lái)越廣泛，產(chǎn)業(yè)規(guī)模化日漸擴(kuò)大，逐漸成為集成電路行業(yè)的一個(gè)新分支。

目前常見(jiàn)的MEMS產(chǎn)品包括MEMS加速度計(jì)、MEMS麥克風(fēng)、微馬達(dá)、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。

MEMS壓力傳感器：汽車(chē)、消費(fèi)電子、醫(yī)療、智能家居等領(lǐng)域市場(chǎng)空間較大

根據(jù)Yole Development數(shù)據(jù)顯示，MEMS行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模逐年增加，各細(xì)分領(lǐng)域市場(chǎng)規(guī)模也在增長(zhǎng)，2018年全球MEMS行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模為116億美元，預(yù)計(jì)到2024年將增長(zhǎng)到180億美元。

預(yù)計(jì)到2024年，MEMS細(xì)分領(lǐng)域的市場(chǎng)規(guī)模大致為：射頻MEMS為44億美元，MEMS慣性器件為42億美元、壓力傳感器為20億美元，麥克風(fēng)為15億美元、光學(xué)類(lèi)MEMS為8.72億美元、噴墨頭為11億美元，輻射熱測(cè)量計(jì)為9.79億美元。

MEMS壓力傳感器是使用MEMS技術(shù)將壓強(qiáng)信號(hào)轉(zhuǎn)化為電學(xué)信號(hào)，是MEMS行業(yè)的一個(gè)重要細(xì)分領(lǐng)域，納芯微市場(chǎng)副總裁/傳感器產(chǎn)品線(xiàn)總監(jiān)高洪連在接受電子發(fā)燒友采訪的時(shí)候表示，MEMS壓力傳感器可以從兩個(gè)維度來(lái)看，即MEMS行業(yè)和壓力傳感器行業(yè)，MEMS和壓力傳感器未來(lái)都有很好的發(fā)展空間，結(jié)合來(lái)看，MEMS壓力傳感器未來(lái)也將有很好的發(fā)展空間。”

從應(yīng)用領(lǐng)域來(lái)看，MEMS壓力傳感器在汽車(chē)、消費(fèi)電子、醫(yī)療和智能家居等領(lǐng)域都將有較大的市場(chǎng)空間。

首先看汽車(chē)領(lǐng)域，汽車(chē)是壓力傳感 器應(yīng)用最多的領(lǐng)域，目前進(jìn)氣歧管壓力傳感器、剎車(chē)壓力傳感器、碳罐脫附壓力傳感器、燃油蒸汽壓力傳感器、空調(diào)冷媒壓力傳感器等已在汽車(chē)行業(yè)中廣泛使用。隨著國(guó)家環(huán)保政策的不斷加強(qiáng)、以及消費(fèi)者對(duì)環(huán)保和安全意識(shí)的不斷提升，未來(lái)汽油機(jī)顆粒過(guò)濾器、柴油機(jī)共軌壓力傳感器、胎壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、側(cè)安全氣囊、SCR（選擇性催化還原技術(shù)）尿素噴射系統(tǒng)等仍有較大的增長(zhǎng)空間。

再看消費(fèi)電子，壓力傳感器在消費(fèi)電子中的應(yīng)用，主要是安裝在手機(jī)和可穿戴設(shè)備中的高度計(jì)，用于測(cè)量高度并配合導(dǎo)航定位系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)在大型建筑中準(zhǔn)確定位到所在樓層。壓感觸控也越來(lái)越多地應(yīng)用于手機(jī)和電腦等消費(fèi)電子產(chǎn)品中，通過(guò)感知觸控的力度來(lái)實(shí)現(xiàn)不同的功能。另外在電子煙中，MEMS壓力傳感器能夠檢測(cè)使用者的抽吸氣壓，在感知到吸氣后使電子煙進(jìn)入工作狀態(tài)。

在醫(yī)療領(lǐng)域，MEMS壓力傳感器主要應(yīng)用在血壓和呼吸道的監(jiān)控中。

未來(lái)隨著智能家居和智能工廠的不斷發(fā)展，工業(yè)生產(chǎn)中的流程控制以及建筑中的空調(diào)系統(tǒng)和空氣凈化系統(tǒng)都將為 MEMS 壓力傳感器帶來(lái)新的增長(zhǎng)空間。

國(guó)內(nèi)主要的MEMS壓力傳感器廠商：必創(chuàng)科技、敏芯微、納芯微

目前在MEMS壓力傳感器領(lǐng)域表現(xiàn)優(yōu)秀的企業(yè)，國(guó)外主要有博世、英飛凌，國(guó)內(nèi)有敏芯微、必創(chuàng)科技、納芯微等。

1、必創(chuàng)科技

必創(chuàng)科技成立于2005年，2017年6月在深交所上市，該公司是一家無(wú)線(xiàn)傳感器網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)解決方案及MEMS傳感器芯片提供商，主營(yíng)業(yè)務(wù)包括MEMS壓力傳感器芯片及模組產(chǎn)品（MEMS產(chǎn)品）的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，主要應(yīng)用于汽車(chē)電子領(lǐng)域。

必創(chuàng)科技此前表示，公司MEMS壓力傳感器芯片可滿(mǎn)足前裝發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣歧管壓力測(cè)量、高度計(jì)、醫(yī)療等行業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景，MEMS壓力傳感芯片是其主營(yíng)業(yè)務(wù)之一，公司會(huì)在MEMS壓力傳感芯片領(lǐng)域持續(xù)投入并開(kāi)拓更多的應(yīng)用方向。

今年4月，必創(chuàng)科技對(duì)外表示，公司MEMS壓力傳感器芯片主要競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手為國(guó)外芯片廠商，目前主要應(yīng)用于發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣歧管壓力測(cè)量，已經(jīng)達(dá)到客戶(hù)要求并已量產(chǎn)。

2、敏芯微

敏芯微成立于2007年，2020年8月在科創(chuàng)板上市，該公司是一家專(zhuān)業(yè)從事微電子機(jī)械系統(tǒng)傳感器研發(fā)設(shè)計(jì)的企業(yè)，公司主要有MEMS麥克風(fēng)、MEMS壓力傳感器和MEMS慣性傳感器三大產(chǎn)品線(xiàn)。

根據(jù)公司官網(wǎng)，敏芯微MEMS壓力傳感器基于美國(guó)專(zhuān)利發(fā)明SENSA工藝的芯片設(shè)計(jì)，相比于傳統(tǒng)工藝傳感器，具有體積小、重量輕、一致性好、穩(wěn)定可靠、成本低等優(yōu)點(diǎn)，此項(xiàng)技術(shù)代表了全球微硅傳感器MEMS制成工藝的技術(shù)潮流與前沿水準(zhǔn)。迄今為止，只有德國(guó)、意大利與美國(guó)的少數(shù)知名半導(dǎo)體企業(yè)掌握了類(lèi)似技術(shù)。該項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)在中國(guó)大陸與美國(guó)申請(qǐng)了專(zhuān)利，并且成功獲得了授權(quán)。

敏芯微表示，公司依托自身成熟的MEMS產(chǎn)業(yè)鏈，完成了從5 kPA到5 MPA的壓力芯片布局，數(shù)字胎壓計(jì)芯片、血壓計(jì)傳感器、汽車(chē)MAP、汽車(chē)碳罐油氣壓力成品等均已經(jīng)大批穩(wěn)定供貨，產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于消費(fèi)電子、醫(yī)療、汽車(chē)、工業(yè)控制等眾多領(lǐng)域。

3、納芯微

納芯微成立于2013年,是一家信號(hào)鏈芯片及其解決方案提供商，致力于成為傳感器、功率驅(qū)動(dòng)以及接口類(lèi)芯片的行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者和國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的汽車(chē)級(jí)芯片提供商。

納芯微成立之初產(chǎn)品以傳感器信號(hào)調(diào)理芯片為主，暨ASIC，并為客戶(hù)提供包括校準(zhǔn)標(biāo)定系統(tǒng)在內(nèi)的一站式解決方案。

但僅提供調(diào)理芯片難以滿(mǎn)足市場(chǎng)和客戶(hù)多元化的需求，于是納芯微開(kāi)始切入MEMS壓力傳感器領(lǐng)域，在原來(lái)調(diào)理芯片基礎(chǔ)上，同時(shí)提供集成式MEMS壓力傳感器方案，形成更加豐富的產(chǎn)品組合。

從產(chǎn)品形態(tài)來(lái)說(shuō)，納芯微集成式MEMS傳感器主要以校準(zhǔn)標(biāo)定好的產(chǎn)品形式出貨；從量程來(lái)說(shuō)，納芯微產(chǎn)品可以覆蓋2kPa~200kPa的表壓范圍，100~500kPa絕壓范圍；

從應(yīng)用來(lái)說(shuō)主要面向汽車(chē)與家電市場(chǎng)布局產(chǎn)品。比如應(yīng)用在洗衣機(jī)、洗碗機(jī)等家電液位檢測(cè)的NSPGD1系列MEMS氣壓式水位傳感器，能夠?qū)崿F(xiàn)高達(dá)2mm的水位檢測(cè)精度，相比傳統(tǒng)機(jī)械水位傳感器的性能全面領(lǐng)先。以及應(yīng)用在汽車(chē)、摩托車(chē)進(jìn)氣壓力檢測(cè)的NSPAS1系列集成式MEMS絕壓傳感器等產(chǎn)品，符合AEC-Q100車(chē)規(guī)標(biāo)準(zhǔn)，滿(mǎn)足油氣腐蝕等惡劣環(huán)境的要求。

納芯微MEMS壓力傳感器芯片在汽車(chē)和家電市場(chǎng)都已形成充分布局，家電領(lǐng)域已經(jīng)實(shí)現(xiàn)MEMS壓力傳感器在吸塵器等產(chǎn)品的成功量產(chǎn)，使吸塵器實(shí)現(xiàn)了地面材質(zhì)感知、塵袋感知等更多智能化的功能；洗衣機(jī)液位全量程測(cè)量精度偏差僅在2毫米，性能大幅度領(lǐng)先傳統(tǒng)機(jī)械方案及國(guó)外同類(lèi)MEMS液位傳感器。汽車(chē)領(lǐng)域，納芯微的MEMS絕壓、差壓產(chǎn)品均已與客戶(hù)建立深入合作，通過(guò)了嚴(yán)苛的各項(xiàng)車(chē)規(guī)測(cè)試，成功應(yīng)用在進(jìn)氣壓力及燃油蒸汽壓力等場(chǎng)景。

國(guó)內(nèi)MEMS壓力傳感器市場(chǎng)的挑戰(zhàn)和機(jī)會(huì)

目前國(guó)內(nèi)主要有兩種類(lèi)型的MEMS壓力傳感器廠商，一種是針對(duì)手機(jī)、手表等消費(fèi)電子市場(chǎng)的廠商，這些廠商通過(guò)采購(gòu)國(guó)外的晶圓，再自己做封裝，將產(chǎn)品用于手機(jī)、手表等消費(fèi)電子領(lǐng)域，目前這一塊已經(jīng)做得很好；另一種是做非消費(fèi)類(lèi)MEMS壓力傳感器的廠商，比較多的產(chǎn)品還是血壓計(jì)，因?yàn)楫a(chǎn)品結(jié)構(gòu)相對(duì)單一，不搭配ASIC，只需要單獨(dú)一個(gè)MEMS敏感元件，直接伏信號(hào)輸出，做簡(jiǎn)單分檔，便出貨給客戶(hù)，因?yàn)榧夹g(shù)單一，價(jià)格戰(zhàn)較為嚴(yán)重。

而對(duì)于一些門(mén)檻較高的領(lǐng)域，比如汽車(chē)，目前國(guó)內(nèi)市場(chǎng)還主要以國(guó)外廠商供應(yīng)為主，有一些做汽車(chē)MEMS壓力傳感器的模組廠商，多以購(gòu)買(mǎi)國(guó)外廠商芯片為主。

高洪連認(rèn)為，也因此，對(duì)于國(guó)內(nèi)MEMS壓力傳感器廠商來(lái)說(shuō)，這里面有很多機(jī)會(huì)。他談到，“我們可以針對(duì)這些市場(chǎng)進(jìn)行布局，有門(mén)檻、需要長(zhǎng)期投入的產(chǎn)品，在產(chǎn)品開(kāi)發(fā)出來(lái)之后，將會(huì)更具競(jìng)爭(zhēng)力，這也是需要國(guó)產(chǎn)芯片供應(yīng)商共同努力的方向。”

過(guò)去十年，國(guó)內(nèi)MEMS行業(yè)發(fā)展迅速，在很多領(lǐng)域都取得了相當(dāng)可觀的進(jìn)展，比如MEMS加速傳感器已經(jīng)在很多領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

MEMS壓力傳感器未來(lái)發(fā)展也非常值得期待，針對(duì)國(guó)內(nèi)MEMS壓力傳感器市場(chǎng)機(jī)會(huì)，高洪連重點(diǎn)談到了三個(gè)方向，一是替代國(guó)外廠商的產(chǎn)品；二是智能化需求，未來(lái)，隨著智能化需求越來(lái)越多，各領(lǐng)域?qū)鞲衅鞯拇钶d需求也將越來(lái)越多；

三是環(huán)保節(jié)能需求，比如汽車(chē)行業(yè)，目前汽車(chē)還是以燃油車(chē)為主，這涉及到氣路和油路，隨著環(huán)保、排放標(biāo)準(zhǔn)升級(jí)，系統(tǒng)的控制需要更加精準(zhǔn)、高效，這將使得傳感器的需求量也越來(lái)越多，除了汽車(chē)，家電也有能效方面的要求，比如洗衣機(jī)的水位，也有一級(jí)能效、二級(jí)能效的考核，還有節(jié)水能力，也是一個(gè)關(guān)鍵的參數(shù)，因此需要更精準(zhǔn)的傳感器來(lái)提升這方面的特性。

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