透明導電薄膜（TCF）作為一種重要的光電材料，在觸控屏、平板顯示器、光伏電池、有機發光二極管等電子和光電子器件領域有著廣泛應用。目前，氧化銦錫（ITO）是工業中應用最為廣泛的透明導電薄膜材料。常用的ITO制備工藝涉及高溫高真空的耗能且工藝復雜。另外，ITO是脆性金屬氧化物且銦資源稀缺，越來越難以滿足科技發展的需求，特別是針對新一代柔性電子器件。單壁碳納米管具有優異的力學、電學和光學性質，因此被認為是最具競爭力的柔性透明導電材料的候選材料之一。碳納米管透明導電膜的制備方式主要分為濕法和干法兩種。濕法是指將碳納米管分散在合適的溶劑中，通過抽濾、浸涂、噴涂、旋涂等方法沉積在相應基底上；干法是指直接通過化學氣相沉積(CVD)生長碳納米管薄膜或者由碳納米管陣列拉絲成薄膜。

中國科學院物理研究所/北京凝聚態物理國家研究中心先進材料與結構分析實驗室A05組長期致力于碳納米結構的制備、物性與應用基礎研究。該課題組研究人員發展出一種新的連續直接制備大面積自支撐的透明導電碳納米管（CNT）薄膜的方法——吹脹氣溶膠法（BACVD），并申請了發明專利。基于BACVD，CNT TCFs的產量可達每小時數百米且碳轉化率（從碳源轉化到CNT的比率）可超過10%，比傳統浮動催化化學氣相沉積法（FCCVD）制備CNT TCFs的相應指標高出3個數量級。

圖1 CNT薄膜的連續制備（左）和收集（右）

BACVD是在吹塑薄膜制備工藝和浮動催化化學氣相技術啟發下發展出來的，其機理是利用特殊的CNT合成反應器，在FCCVD法制備CNT的過程中，實現“吹泡”的過程。具體制備過程包括兩步，首先穩定吹脹CNT的氣溶膠膜泡，然后通過CNT生長過程中CNT長度的增加將氣溶膠膜泡“固化”為氣凝膠。最后CNT透明導電薄膜隨著載氣從反應器末端噴出。研究團隊深入研究了制備的過程，給出了BACVD法的廣義相圖。根據具體的制備條件，相圖分為四個區域，分別對應不同的產物。該相圖對于進一步理解BACVD和薄膜性能提升具有指導意義。另外，該方法可在無氫氣的條件下實現薄膜的合成，意味著制備過程安全且高效。所制備透光率90%的薄膜，經過簡單的摻雜，面電阻約40 ohm/sq，表現出優良的光電性能。針對BACVD 所制備的超薄CNT薄膜，研究人員設計了“卷式 (roll) ”收集裝置，實現了薄膜的連續在線收集。相關研究結果發表在Advanced Materials上。

圖2 BACVD 方法相圖（左），不同條件所制備CNT樣品的性能對比（中），BACVD法與傳統FCCVD法制備CNT透明導電薄膜的產量及碳轉化率的對比（右）。

圖3 BACVD 法制備CNT薄膜的性能和微觀形貌：透光率與面電阻（左上），穩定性（右上），掃描電子顯微鏡（左下）和透射電子顯微鏡（右下）圖像。

除CNT TCFs，研究團隊還利用該方法進行了高導電、高強度纖維的研究。將所制備筒狀薄膜通過液態皺縮劑可直接轉化為連續的CNT纖維。然后，通過酸處理，纖維性能得到大幅提升。特別是氯磺酸處理后，纖維的強度達到2 GPa，同時電導率達到4.3 MS/m。相關研究發表在Chinese Physics B上。BACDV法作為一種新制備CNT薄膜的方法，在基礎研究和產業應用中都有重要意義。該工作提出了一種新的CNT宏觀體的構筑思路——首先利用氣流輔助實現對短CNT氣溶膠特定形態的構筑，然后結合CNT的合成，利用碳管長度的持續增加，實現氣溶膠的固化。此外，超高的產量和碳轉化率對CNT的產業化具有重要意義，特別是對于CNT作為透明導電薄膜、電極和纖維等“工程材料”。

圖4 CNT纖維的連續制備與收集（左）及其宏觀（中）與微觀（右）形貌

該工作得到科學技術部、國家自然科學基金委和中科院戰略性先導科技專項（A類）等的支持。

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