超聲電機中設備R軸及微型機械臂的應用分析
超聲電機壓電致動器驅動的設備R軸應用，超聲電機高精度（約為0.005°）、可中空、體積小、扭力大、斷電自鎖、適應溫度范圍-40℃到105℃，配合外置或者內置閉環控制進行高精度，可應用于設備R軸及微型機械臂應用。
目前設備R軸及微型機械臂，普遍使用伺服電機、步進電機，控制方案，但是方案體積大，重量大，運動精度低，無法中空，結構配件要求笨重，一般精度無法到達0.005°級別。
壓電致動器驅動的設備R軸及微型機械臂，超聲電機高精度、可中空、體積小、重量只有15克，扭力大任意組合，不產生干涉。
微型體積輸出大推力，閉環控制，將微型高精度閉環控制系統安裝在微型超聲電機背部，實現位置反饋，運動過程中將信息傳導到超聲電機0.005°閉環控制電路從而控制微型超聲電機精準運動。
超聲電機伺服控制電路支持物理限位尋零功能。使用超聲電機技術制作的滑臺具有明顯優勢。
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