真空度是指真空下氣體的稀薄程度。如果被測(cè)設(shè)備中的壓力低于大氣壓力，則需要真空測(cè)量?jī)x器進(jìn)行壓力測(cè)量。從真空測(cè)量?jī)x中讀取的值稱為真空度，真空度值表示系統(tǒng)壓力的實(shí)際值低于大氣壓力，即真空度＝大氣壓力－絕對(duì)壓力，絕對(duì)壓力＝大氣壓＋表壓（－真空度）。

常用的真空度檢測(cè)儀器有真空計(jì)和熱導(dǎo)傳感器，檢測(cè)原理是皮拉尼原理。下面以皮拉尼原理的真空計(jì)和熱導(dǎo)傳感器來(lái)簡(jiǎn)要概述一下這二者在真空度檢測(cè)事項(xiàng)方面的差異。

皮拉尼真空計(jì)，其工作原理是每單位體積的空氣分子數(shù)隨著真空度的不同而不同，而電阻絲的溫度是不同的，因?yàn)殡娮杞z的電阻率是溫度的函數(shù)，所以不同的真空度導(dǎo)致不同的電阻率，所以電阻不同，電阻絲上的電流壓降也不同。根據(jù)電壓的變化，可以轉(zhuǎn)換氣壓，即可以測(cè)量真空度。實(shí)際的皮拉尼真空吸塵器通常被制成一個(gè)四臂電橋，用電阻絲串聯(lián)起來(lái)進(jìn)行溫度補(bǔ)償。

熱導(dǎo)傳感器是真空科學(xué)研究和真空測(cè)試技術(shù)的重要檢測(cè)元件。基于皮拉尼原理的熱導(dǎo)傳感器廣泛用于測(cè)量105帕至10－1帕的粗真空。它包含一個(gè)暴露在被測(cè)氣體環(huán)境中的加熱體，該加熱體被流經(jīng)它的電流加熱，并被周圍氣體的散熱冷卻。如果氣壓降低，氣體的散熱就會(huì)減少，所以當(dāng)加熱電流不變時(shí)，加熱體的溫度就會(huì)升高，反之亦然。

熱導(dǎo)傳感器的加熱元件（即測(cè)量電阻器）由放置在絕熱膜上的鉑膜電阻器組成。絕緣膜懸掛在微加工的25深度空腔上，空腔的底面平行于絕緣膜，以確保傳熱率的精確測(cè)量。由于被測(cè)氣體非常小（即腔體體積小），因此它可以提供超低功耗和快速響應(yīng)時(shí)間。熱導(dǎo)傳感器廣泛應(yīng)用于分析儀器、任何封閉系統(tǒng)中的真空檢漏設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備、便攜式真空計(jì)設(shè)備等。

對(duì)于真空度測(cè)量?jī)x器的選擇，兩款熱導(dǎo)傳感器，瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器 － MTCS2601和荷蘭Xensor 熱導(dǎo)式氣體傳感器 － XEN－TCG3880。MTCS2601對(duì)安裝位置不敏感，可以使用在串?dāng)_氣體環(huán)境中，與一個(gè)簡(jiǎn)單恒定的溫度電路兼容。XEN－TCG3880適用于10mPa～10KPa 之間的真空度測(cè)量。
責(zé)任編輯:pj