新冠疫情在全球蔓延之際，呼吸機成為挽救生命、抗擊疫情最重要的醫療設備之一，原來在技術上及市場上并不被看好的中國呼吸機相關產業，在疫情期間迎來了一次大發展，作為國內領先的MEMS芯片及先進物聯感知系統服務商，西人馬公司先后成功研發氣體流量傳感器和氧傳感器，近期又研發出一系列壓阻式壓力傳感器，有效解決了呼吸機廠商對傳感器的需求。

其實，壓阻式壓力傳感器除了可以用在呼吸機以外，還是工業自動化中應用最廣泛的一種傳感器。此次，西人馬公司共計研發生產出6大系列壓阻式壓力傳感器，并將于6月22日在“由‘感’而生，從‘芯’出發——壓力系列芯片傳感器2020 FATRI西人馬 線上新品發布會”上正式發布，與傳感器一起在現場發布的，還有8款西人馬公司自主研發的壓阻式壓力芯片。

西人馬壓阻式壓力芯片

此次發布的8款壓力芯片都是由西人馬公司自主研發，涉及絕壓及差壓芯片，這些芯片可以根據不同的使用場合封裝成各種不同的傳感器。

西人馬壓阻式壓力芯片采用6寸MEMS產線加工完成，該壓力芯片由一個彈性膜及集成在膜上的四個電阻組成，四個壓敏電阻形成了惠斯通電橋結構，當有壓力作用在彈性膜上時電橋會產生一個與所加壓力成線性比例關系的電壓輸出信號。西人馬的壓力芯片工作于-55～125℃和-55～260℃的兩個溫度領域，芯片尺寸從0.6mm x 0.6mm到2.0mm x 2.0mm。芯片具有良好的綜合精度和穩定性，零點和滿量程溫飄小，擁有優異的抗干擾能力和抗靜電能力，過載能力強，靈敏度高，方便采用運放或集成電路針對輸出進行調試。

西人馬壓阻式壓力傳感器

壓力傳感器能夠廣泛應用于各種工業自控環境，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、民用航空、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業。

壓阻式傳感器是一種比較常見的壓力傳感器，這是一種利用單晶硅材料的壓阻效應和集成電路技術制成的傳感器。固體材料（如半導體或者金屬）在應力的作用下發生形變，其電阻率發生變化，這種效應稱為壓阻效應。這種電阻變化在半導體中比在金屬中更加明顯，因此基于MEMS工藝制作的硅壓阻傳感器成為主流。硅壓阻壓力傳感器的做法通常是在半導體硅上蝕刻出4個壓敏電阻，通過連接形成惠斯通電橋，之后刻蝕出壓力背腔，形成敏感硅膜。當壓力背腔受到壓力時，背腔的敏感硅膜產生變形，使得硅上的4個電阻阻值發生改變，從而得到與所施加壓力成比例的電壓輸出。

根據傳感器應用領域不同，會有不同的封裝設計。壓力傳感器的測量介質常見的有氣體和液體，同時需要考慮測量介質是否帶有腐蝕性。不同的測量介質導致了不同壓力傳感器的封裝設計：在民用航空、汽車工業中，因為其惡劣的工作環境，一般采用陶瓷和不銹鋼封裝；在消費類電子中，因為對價格敏感，一般采用塑料封裝；如果測量介質帶有腐蝕性，一般采用不銹鋼或陶瓷封裝。

此次新品發布會上，西人馬將發布TYZV02、TYZV03、TYZV06、TYZV08、TYZV09、TYZV10共計6大系列壓阻式壓力傳感器產品，分別擁有不同的性能和封裝方式，適用于不同領域。

TYZV02壓阻式壓力傳感器可應用于民用航空、汽車和工業領域。其主要特點是小尺寸、高靈敏度以及寬的頻率響應；

TYZV03系列板載安裝式壓阻壓力傳感器可用于測量氣體壓力，擁有板載式安裝、易集成、TO封裝、適合大規模量產等特點，可應用在醫療設備、儀器儀表、暖通控制、工業控制、氣動控制和環境控制等領域；

TYZV06系列壓阻式壓力傳感器是一種極薄型壓力傳感器，由于尺寸非常小，可安裝在彎曲的表面上，對層流和熱空氣的影響很小。因此，它可以集成到各種試驗中，如風機葉片、各種類型的發動機噴嘴等；

TYZV08和TYZV10系列板載安裝式壓阻壓力傳感器可用于測量氣體壓力，具有板載式安裝、易集成、超低量程5mabr可選、極佳穩定性、自帶溫度補償和表壓及差壓可選的特點，可應用在醫療設備、儀器儀表、暖通控制、工業控制、氣動控制和環境控制等領域；

TYZV09系列高溫壓阻式壓力傳感器可用于測量靜態或動態壓力。它的小直徑適合于測量飛機表面壓力、渦輪發動機進氣畸變壓力或汽車變速器壓力的嵌入式安裝。傳感器的高頻響應允許在風洞中的小規模模型上使用。