近期，突如其來的新型冠狀病毒感染引發的肺炎疫情席卷全球，牽動每個人的心。在這次全民緊急戰役中，除了口罩等疫情防護用品外，耳溫槍、額溫槍等非接觸式紅外測溫設備憑借快速、直觀、安全等特點，在疫情防控最前線發揮了重大作用。

紅外測溫設備核心是熱電堆紅外傳感器，熱電堆紅外傳感器是基于塞貝克效應機理，采用硅基工藝，在底硅刻蝕深腔，頂硅支撐層上排布若干熱電偶，傳感器接收紅外輻射時，熱電堆上多個熱電偶電壓疊加輸出，從而將采集溫度轉變為電壓信號。測溫設備難點在于需要達到醫用計量標準，其核心傳感器具備高精度、高可靠性、高穩定性以及高一致性等要求。

疫情緊迫，西安勵德積極成立紅外溫度傳感器項目組，加班加點討論方案，協助合作單位完善設計方案，集中攻關工藝難點。公司背腔刻蝕采用經典Bosch工藝，刻蝕與鈍化交替進行，先后開發針對熱電堆紅外傳感器的300μm、400μm深度的背腔深硅刻蝕技術。其中背腔刻蝕尺寸精度、側壁垂直度、側壁粗糙度等均是影響傳感器最終精度的重要指標，需要精確的工藝參數控制，如功率、氣體流量、壓力等，對刻蝕周期的調控都需要精確至毫秒級，保證芯片散熱性能。

3月以來，國外疫情日趨嚴重，西安勵德加緊擴充相關產品的產能，突破紅外測溫技術瓶頸，核心技術完全自主可控，從根本上保證了產品質量和供貨周期，有力筑起紅外測溫抗疫的第一道防線。

西安勵德以”創造更美好的智能社會”為產業愿景，不斷積累經驗，重視創新，構建了相對完整的物聯網（IOT）生態圈，以各類傳感器為核心，形成了“設計+工藝開發+工藝驗證+批量生產”的系統解決方案，業務覆蓋民用傳感器和航空航天等軍用領域，以提供一流微器件制造解決方案為己任，不斷努力。