4月16日晚間，國內半導體設備龍頭之一的中微公司（688012．SH）公布了登陸科創板的首份答卷：在半導體設備市場和LED設備市場下滑的背景下，中微公司2019年營業收入達到19．47億元，同比增長18．77%;歸母凈利潤達到1．89億元，同比增長107．51%。

逆勢增長背后，是中微公司不斷攀高的研發投入。2019年，中微公司研發投入達到4．25億元，占營業收入的21．81%。

在高研發投入的驅動下，中微公司產品開發和商業化進程不斷加速。旗下刻蝕設備已經成功取得5nm邏輯電路、64層3D NAND芯片制造廠的重復訂單;用于深紫外LED的MOCVD設備成功完成客戶驗證，訂單發貨指日可待。

盡管中美貿易摩擦已告一段落，但是受新冠疫情因素等影響，半導體行業何時回歸上行周期仍存變數，已在疫情后100%復產的中微公司將如何延續逆流而上的勢頭？

5nm產線出現中國刻蝕設備

半導體設備是技術密集型產品。因為先發優勢，半導體設備市場一直由歐美、日本等國家的企業主導。由于芯片行業戰略地位重要，中國企業不僅需要攻克技術難關，往往還要突破西方的層層封鎖。比如2018年中芯國際向ASML訂購的EUV光刻機，就因為遲遲得不到荷蘭政府的批準，至今無法交付，中芯國際只能“干著急”。

“刻蝕”和“光刻”一樣，都是芯片生產必不可少的工序。盡管刻蝕機的技術壁壘比光刻機要低，但是美國也通過出口管制等舉措，希望能“以點帶面”，牽制中國半導體產業發展。在市場層面，海外巨頭們則成壟斷之勢。泛林半導體、東京電子、應用材料占據了刻蝕設備市場的主要份額，靠技術和規模擠壓著追趕者的生存空間。

研發高投入，成為中國半導體設備廠商突破封鎖的不二法門。中微公司自研的等離子體刻蝕設備在技術指標上躋身世界前列后，成功迫使美國商務部解除了相關設備的出口管制。

2016到2018年，中微公司研發投入不斷增加，先后邁過3億元和4億元大關。2019年，中微公司繼續在研發投入上“高舉高打”，研發投入增長至4．25億元，占營業收入的21．81%。

高額研發投入帶來的技術和產品優勢，逐漸體現在市場表現上。中微公司自研自產的電容性CCP（電容性耦合的等離子體源）等離子體刻蝕設備，已經出現在國際頭部晶圓廠產線上，在5nm產品的若干關鍵加工步驟中扮演重要角色。

用于加工LED外延片的MOCVD設備在近幾年成為中微公司業績增長的主要引擎。中微公司的Prismo A7能實現單腔34片4英寸外延片的加工，鞏固了中微公司在全球氮化鎵基LED MOCVD市場中的領先地位。

新產品的優異表現，讓中微公司的高速增長得以延續。中微公司在2017年扭虧為盈后，凈利潤步入增長快車道，在研發高投入和營收高增長的良性循環中漸入佳境。

2016-2019年中微公司主要財務指標

下游巨頭擴產潮延續

半導體行業具有明顯的周期性，近幾年，因為終端芯片價格下降和產能逐步釋放，半導體設備市場在2019年持續下滑。國際半導體產業協會（SEMI）統計數據顯示，2019年度半導體設備市場下滑幅度約為9%。中美貿易摩擦、新冠疫情，都讓整個市場的回暖存在變數。

不過，頭部廠商的擴產計劃卻并未收到大環境的波及。由于7nm需求強勁，臺積電的業績并未受到太多沖擊。2020年，臺積電仍將維持150-160億美元的資本支出，6nm制程按計劃將在年底投產，5nm和3nm的研發、試產和量產計劃，也在如期推進。

中芯國際也動作頻頻。盡管2019年營收下滑7．27%，但是中芯國際仍計劃大幅擴充產能。根據其資本開支計劃，中芯國際2020年資本支出將提升至31億美元，達到2019年實際資本支出的1．52倍。僅2020年3月，中芯國際就公告了兩筆設備采購協議，分別與應用材料和泛林半導體達成5．43億美元和3．97億美元的采購大單。

盡管越來越低廉的芯片價格和國際局勢讓半導體行業上行周期不斷延后，但是5G和互聯網紅利已近在眼前，巨頭們正忙不迭地擴充產能，迎接新一輪高速增長。臺積電在7nm、6nm、5nm和3nm多線布局，就是因為高通、蘋果和華為等客戶對先進制程芯片的需求依然旺盛——根據公開報道，華為剛砍掉部分臺積電5nm制程訂單，蘋果就照單全收。

對于中微公司來說，不斷提升產品性能指標從而與下游頭部客戶共舞，將成為能否延續高速增長的關鍵。目前，中微公司正在開發新一代刻蝕設備和包括大馬士革在內的刻蝕工藝，彌補技術短板，進而覆蓋5nm以下的刻蝕需求。

LED設備市場也處于下行階段。不過，作為新興顯示屏解決方案的Mini LED正摩拳擦掌——對比價格高昂的OLED，Mini LED不僅顯示效果接近，而且使用壽命更長。以蘋果為代表的廠商，早就表露出在平板和電腦上搭載Mini LED屏幕的強烈興趣，使用該屏幕的iPad最早有望在2020年底上市。

作為全球氮化鎵基LED MOCVD設備的領跑者，中微公司已經積累了MOCVD設備的技術和開發經驗。目前，用于Mini LED生產的MOCVD設備正在積極研發中，中微公司同時也在開發制造Micro LED和功率器件的MOCVD設備。

根據4月17日線上業績說明會，用于“環境保護”、“設備網絡”、“電子生物”等領域的非半導體設備，將成為中微公司在刻蝕設備和MOCVD設備以外開辟的“第三戰場”。

堅持高額研發投入戰略的中微公司，不僅突破了海外巨頭的技術封鎖，而且逐步取得市場成功，在扭虧為盈后步入業績增長的快車道。盡管半導體設備行業前景仍陰晴不定，但是5G和物聯網需求的釋放，已經促使頭部芯片廠商邁入擴產潮。中微公司若能延續其技術和產品上的節節邁進，其業績將在巨頭們的擴產潮中邁上新臺階。

在研發與業績互相促進的良性循環下，以中微公司為代表的中國半導體設備企業，將使“技術領先”成為產品的首要競爭力，西方發達國家的封鎖終將面對無功而返的那一天。

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