（文章來源：iVacuum）

容積真空泵有許多產品標準和試驗方法標準，有的是多年未修改，有的是近些年來已進行了修訂，但還有一些方面需要研究和探討。ISO也發布了一些新標準，需要根據我國的具體情況進行選擇性地貫徹。對此，根據我們多年的實踐和研究，提出一些新的看法和見解。

極限壓力的定義是：泵裝有標準試驗罩并按規定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的最低壓力。這就是說，它是一個無限的漸近的值，就象數學中的無窮小一樣，它是一個變量，在變化過程中它永遠也達不到所謂的極限和最低，是一個無法測量的值。

也正如ISO21360-2007指出的，極限壓力是測試罩內漸近的壓力值，它是泵可獲得的最低壓力，但沒有一個實際的測量方法或規范。因此，我們通常所測得的所謂極限壓力，只不過是假定的、人為認定的極限壓力值，它沒有實際意義。

ISO21360-2007提出了一個新概念——基礎壓力，它的定義為：真空泵和測試罩達到工作條件后，測試罩內的壓力。又指出，通常測試罩指定位置所測得的壓力即為基礎壓力。我們認為它的定義說得不夠明白、不夠確切、也不夠全面。

我們認為基礎壓力正確的定義應為：“泵按規定條件工作，在不引入氣體的情況下，標準測試罩內趨向穩定的壓力”。它與原來的極限壓力的定義相比較，基礎壓力的定義中取消了關鍵的“最低”一詞，也就沒有了極限的含義，因此，這是一個可以測量的值，雖然是趨向穩定，但也已經離穩定不太遠了。

泵按規定條件工作，在不引入氣體的情況下，至少運轉lh(氣鎮泵應預先在氣鎮狀態下至少運轉lh)，每間隔30min測量一次測試罩內壓力，當連續三次測量結果表明壓力不再變化，即認為達到了基礎壓力，分壓和全壓的測量應同時進行。氣鎮泵應在上述測量后，完全打開氣鎮閥，泵溫穩定后重新測量氣鎮時的基礎壓力。

分壓一直是用壓縮式真空計測量的，它的工作液是汞，考慮到環境污染，國際上非常重視限制和禁止使用汞的工作，我國最大的汞使用行業—氯堿行業已明確汞污染防治的總體規劃時間表，2021-2030年為無汞化階段。禁止使用汞的時代終將來到，但到目前為止還沒有一種儀表可以取代它來直接測量分壓，因此這項工作必須抓緊進行。在現階段，建議用薄膜真空計(加冷阱)來測量分壓，或者是干脆取消分壓的考核和測量，因為分壓對用戶來說并沒有多少實用意義，國外不少公司也已取消了分壓指標。

全壓用薄膜真空計測量。薄膜真空計中常用的是差動式雙電容薄膜計，它不但測量精度高，而且測量下限可達10-3Pa。它有一個高真空基準膜盒，薄膜計的示值實際上是傳感器的測量值與基準膜盒相比較的結果，基準膜盒由于存在著放氣和漏氣，它的真空度會非常緩慢、不斷地下降，因此薄膜計的零位應該經常進行校準，尤其是對低量程的1Torr(133Pa)和0.1Torr(13Pa)的傳感器而言，它的影響更大，故基準膜盒應根據具體變化情況，及時進行高真空處理或更換。

還有一點必須注意，薄膜真空計在使用中，低量程傳感器絕對不可充入大氣，即使在停止使用期間，也必須保持在較高的真空狀態下，以免膜片產生永久變形，影響薄膜真空計的測量準確度。

熱傳導真空計從結構上分析，它應該有較好的測量準確度，但市場上各種真空計之間相對誤差較大，即使是同一廠商生產的真空計之間也有類似問題，因此使用部門必須要有校準設備，定期進行校準，以保證熱傳導真空計的測量準確度，才能滿足泵性能測量的要求。
（責任編輯：fqj）