MEMS電容技術能以最低功率實現超低噪音，獲得行業領先的相對精度、傳感器吞吐量和溫度穩定性，TDK-InvenSense氣壓傳感器系列就是基于這項技術開發的。該壓力傳感器能以±1Pa的精度測量壓力差，這個精度可使高度測量差小至5cm，小于一級臺階的高度。

TDK ICP-101 xx壓力傳感器系列就是基于MEMS電容技術，以最低功率提供超低噪音，獲得行業領先的相對精度、傳感器吞吐量和溫度穩定性。

電容壓力傳感技術克服了以往壓阻技術的諸多挑戰，提高了整體性能。下面是這兩種結構的比較 ：

壓阻 測量應變	電容 測量電容
隔膜 頂視圖	隔膜 側視圖
檢測因應力發生的隔膜變形將應力轉換成電信號	直接將隔膜變形轉換成電信號

噪音和功率

電容壓力傳感器的結構優勢實現了無與倫比的超低噪聲和功率水平，超過壓阻傳感器所能達到的水平。以下是TDK的ICP-101 xx電容壓力傳感器系列與普通工業壓阻傳感器的噪音和功率圖（輸出數據速率為1Hz時） ：

圖1 噪音和功率

ICP-101 xx壓力傳感器系列的本底噪聲小于0.4Pa-RMS，實現了小于±1Pa的壓力測量差，這個精度使高度測量差小到5cm，小于一級臺階的高度。

圖2最低壓力噪音和相對精度

溫度穩定性

壓阻與電容壓力傳感器

因為壓阻對溫度變化非常敏感，電容壓力傳感器天生就比基于壓阻的傳感器具有更高的溫度穩定性。ICP-101xx壓力傳感器系列實現了行業領先的溫度系數偏差±0.5Pa/°C，使設備在一個很寬的溫度范圍內非常穩定。

TDK的電容壓力傳感器具有超低噪音、超低功率和溫度穩定性，達到了新的性能水平，使現有的壓阻技術不可能實現的用例成為可能。

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