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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>MEMS傳感器的優化與動態試驗

      MEMS傳感器的優化與動態試驗

      2009-11-23 | rar | 225 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      為了實現液壓系統的動態測量，給液壓系統的設計以及故障診斷提供理論依據，在
      已經設計的新型MEMS 流量傳感器的基礎上，對其結構尺寸進行了進一步的優化，并對
      MEMS 芯體和優化后的MEMS 傳感器進行靜態標定。對MEMS 傳感器進行動態特性試驗，發現新型MEMS 傳感器具有低擾動、高頻率響應等特點，適合液壓系統的動態測量。
      傳感器 mems
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