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對分度頭檢測加速度計靜態特性相關的幾何物理問題進行了分析+ 結果表明+ 傳感器在分
度頭上的安裝偏差角和傳感器自身固有的橫向效應都會影響檢測精度。用分度頭對加速度計進行靜態特性的檢測+ 橫向效應包含在測量結果的非線性中。用非線性和橫向效應都很小的加速度傳感器作為試樣+ 在分度頭上人為安裝有##、(# 和"(# 的偏角時+ 檢測到的非線性隨偏角的增加而變大+ 與理論分析一致。利用高分辨分度頭尋找能降低懸臂梁壓阻式加速度傳感器橫向效應的基準面+ 以此基準面封裝成的傳感器的橫向效應和非線性的綜合效果小于#, #(-。
關鍵詞! 加速度計. 橫向效應. 非線性. 靜態測量
度頭上的安裝偏差角和傳感器自身固有的橫向效應都會影響檢測精度。用分度頭對加速度計進行靜態特性的檢測+ 橫向效應包含在測量結果的非線性中。用非線性和橫向效應都很小的加速度傳感器作為試樣+ 在分度頭上人為安裝有##、(# 和"(# 的偏角時+ 檢測到的非線性隨偏角的增加而變大+ 與理論分析一致。利用高分辨分度頭尋找能降低懸臂梁壓阻式加速度傳感器橫向效應的基準面+ 以此基準面封裝成的傳感器的橫向效應和非線性的綜合效果小于#, #(-。
關鍵詞! 加速度計. 橫向效應. 非線性. 靜態測量
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