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提出了一種由非本征法布里-珀羅干涉結(jié)構(gòu)構(gòu)成的波紋銀膜光纖傳聲器。在波紋的作用下，通過(guò)釋放膜片的初始應(yīng)力，提高了傳感器的靈敏度。提出了一種簡(jiǎn)單的“灰度曝光”方法來(lái)制作波紋。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，制備的波紋膜（CD）的機(jī)械靈敏度為52nm/pa，是相同參數(shù)下平面膜的兩倍。并對(duì)所制備的傳聲器的其他特性進(jìn)行了詳細(xì)的測(cè)試。該方法具有靈敏度高、簡(jiǎn)單、成本低等優(yōu)點(diǎn)，有望在弱聲傳感領(lǐng)域得到應(yīng)用。
光纖傳聲器（OFM）通常采用基于振膜的非本征法布里-珀羅干涉測(cè)量（EFPI）結(jié)構(gòu)，以其分辨率高、重量輕、體積小等優(yōu)點(diǎn)，在聲學(xué)測(cè)量中受到越來(lái)越多的關(guān)注。］當(dāng)受到入射聲作用時(shí)，振膜會(huì)振動(dòng)并調(diào)節(jié)OFM F-P腔的長(zhǎng)度。作為OFM的基石，需要高機(jī)械和光學(xué)質(zhì)量的振動(dòng)膜來(lái)確定傳感器的性能。到目前為止，已經(jīng)使用了幾種彈性材料來(lái)感應(yīng)中的壓力。硅是Nd硅是最早采用的振動(dòng)膜材料，但用常規(guī)的微機(jī)械加工方法很難制備厚度小于1μm的大薄膜，近年來(lái)對(duì)二維層狀材料進(jìn)行了研究。
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