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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>模擬數字論文>機器微視覺的MEMS平面微運動測試技術

      機器微視覺的MEMS平面微運動測試技術

      2015-08-10 | pdf | 272KB | 次下載 | 1積分

      資料介紹

      隨著微電子機械系統(MEMsl研究的深入和產業化的需求．檢測技術在MEMS中的重要性越來越大。基 于機器微視覺原理組建MEMS動態測試系統，在此系統之上，采用模糊圖像合成技術對MEMS器件的平面搬 運動特性進行測量，并給出了測量結果。
      mems 機器微視覺
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