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論述了電子氣體輸送系統的各種技術現狀和特點，并就高純度、大流量、嚴格的安全
措施和大力降低建設成本四個方面預測了其發展趨勢。
關鍵詞： 電子氣體，特種氣體，大宗特氣，輸送系統，純度控制
1． 現狀
電子氣體是超大規模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光等電子工業生產不可缺少的原材料，它們廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。例如在目前工藝技術較為先進的超大規模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過450 道，其中大約要使用50 種不同種類的電子氣體。電子氣體輸送系統是指為滿足工藝制程的需求，在充分保證工藝和產品安全使用的前提下，將電子氣體從氣源端無二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數、穩定地輸送到工藝生產設備的用氣點。根據氣體性質和供應包裝的不同，一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。
措施和大力降低建設成本四個方面預測了其發展趨勢。
關鍵詞： 電子氣體，特種氣體，大宗特氣，輸送系統，純度控制
1． 現狀
電子氣體是超大規模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光等電子工業生產不可缺少的原材料，它們廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。例如在目前工藝技術較為先進的超大規模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過450 道，其中大約要使用50 種不同種類的電子氣體。電子氣體輸送系統是指為滿足工藝制程的需求，在充分保證工藝和產品安全使用的前提下，將電子氣體從氣源端無二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數、穩定地輸送到工藝生產設備的用氣點。根據氣體性質和供應包裝的不同，一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。
電子氣體
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