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針對傳統(tǒng)的擴散爐控制系統(tǒng)的溫度控制精度、生產(chǎn)工藝控制能力等較低的現(xiàn)狀,提出了一種以PLC 為核心的擴散爐智能控制系統(tǒng)。該系統(tǒng)將模糊控制算法引入傳統(tǒng)的擴散爐控制系統(tǒng),利用模糊控制規(guī)則自適應地在線對量化因子進行修改。應用結果表明:該系統(tǒng)有效地實現(xiàn)了對多工位擴散爐溫度工藝曲線和輔助工藝的自動控制,提高了溫度控制精度以及工作效率。
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