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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子資料>半導(dǎo)體硅材料研磨液研究進展

      半導(dǎo)體硅材料研磨液研究進展

      2021-04-09 | rar | 0.31 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　隨著 IC制造技術(shù)的飛速發(fā)展，為了增加 IC芯片產(chǎn)量和降低單元制造成本 ，硅片逐漸趨于大直徑化，然而為了滿足 IC封裝的要求，芯片的厚度卻在不斷的減小。因此，對硅片加工的表面質(zhì)量提出了更高的要求。文章詳細說明了硅片研磨機理及工藝條件；重點闡述了在半導(dǎo)體硅片的研磨過程中研磨液的組成及各個組分的作用；并介紹了國內(nèi)外研磨液的發(fā)展現(xiàn)狀，指出了其優(yōu)缺點 ；最后強調(diào)了研磨液開發(fā)的重要性。

      半導(dǎo)體 硅片
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