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      電子發燒友網>電子資料下載>電源技術>微波電源控制器的研制

      微波電源控制器的研制

      2018-01-18 | rar | 0.48 MB | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      　　微波等離子體技術具有極其廣闊的應用領域，如等離子體增強化學氣相沉積、等離子體表面處理以及等離子體刻蝕等。微波電源作為微波等離子體設備的核心，是激發與維持微波等離子體的動力。它的輸出功率直接決定了等離子體的各項參數，影響到工藝效果。所以，為了取得良好的工藝效果與穩定性，需要設計控制器保證微波電源穩定可靠的工作。鑒于此，本文基于嵌入式技術，以C805IF500為控制核心，引入數字化與光信號化的測控電路設計微波電源控制器陸-，該控制器包括供電電源部分與測控部分，通過優化的硬件電路，輔以合適的抗干擾措施，保證了微波電源在控制器作用下可靠工作。

      微波電源控制器的研制

      電源 控制器
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