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半導體微加工技術:２、半導體VLSI工藝流程概述
３、半導體各工藝簡介
集成電路的劃分及發展:
VLSI = Very Large Scale Integration
小規模SSI ~100個晶體管
中規模MSI 100-1000個晶體管
大規模LSI 1000-100000個晶體管
超大規模VLSI >100000個晶體管(64K)
集成電路（Integrated Circuit – IC）是指通過一系列特定的加工工藝，將多個晶體管、二極管等有源器件和電阻、電容等無源器件，按一定的電路連接集成在一塊半導體單晶片或其他基底片上，作為一個不可分割的整體執行某一特定功能的電路組件。
３、半導體各工藝簡介
集成電路的劃分及發展:
VLSI = Very Large Scale Integration
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超大規模VLSI >100000個晶體管(64K)
集成電路（Integrated Circuit – IC）是指通過一系列特定的加工工藝，將多個晶體管、二極管等有源器件和電阻、電容等無源器件，按一定的電路連接集成在一塊半導體單晶片或其他基底片上，作為一個不可分割的整體執行某一特定功能的電路組件。
半導體
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